Semiceraמציע בגאווהGa2O3אפיטקסיה, פתרון חדיש שנועד לדחוף את גבולות האלקטרוניקה הכוחנית והאופטואלקטרוניקה. טכנולוגיה אפיטקסיאלית מתקדמת זו ממנפת את התכונות הייחודיות של Gallium Oxide (Ga2O3) כדי לספק ביצועים מעולים ביישומים תובעניים.
תכונות עיקריות:
• פער רחב יוצא דופן: Ga2O3אפיטקסיהכולל מרווח פס רחב במיוחד, המאפשר מתחי פירוק גבוהים יותר והפעלה יעילה בסביבות בעלות הספק גבוה.
•מוליכות תרמית גבוהה: השכבה האפיטקסיאלית מספקת מוליכות תרמית מעולה, המבטיחה פעולה יציבה גם בתנאי טמפרטורה גבוהה, מה שהופך אותה לאידיאלית עבור התקנים בתדר גבוה.
•איכות חומר מעולה: השג איכות גביש גבוהה עם פגמים מינימליים, הבטחת ביצועי מכשיר ואריכות ימים אופטימליים, במיוחד ביישומים קריטיים כגון טרנזיסטורי כוח וגלאי UV.
•רבגוניות ביישומים: מתאים באופן מושלם לאלקטרוניקה כוח, יישומי RF ואלקטרוניקה אופטו, ומספק בסיס אמין להתקני מוליכים למחצה מהדור הבא.
גלה את הפוטנציאל שלGa2O3אפיטקסיהעם הפתרונות החדשניים של Semicera. המוצרים האפיטקסיאליים שלנו מתוכננים לעמוד בסטנדרטים הגבוהים ביותר של איכות וביצועים, מה שמאפשר למכשירים שלך לפעול ביעילות ובאמינות מקסימלית. בחר Semicera עבור טכנולוגיית מוליכים למחצה מתקדמת.
| פריטים | הֲפָקָה | מֶחקָר | דֶמֶה |
| פרמטרים של קריסטל | |||
| פוליטייפ | 4H | ||
| שגיאת כיוון פני השטח | <11-20 >4±0.15° | ||
| פרמטרים חשמליים | |||
| דופנט | חנקן מסוג n | ||
| הִתנַגְדוּת סְגוּלִית | 0.015-0.025 אוהם·ס"מ | ||
| פרמטרים מכניים | |||
| קוֹטֶר | 150.0±0.2 מ"מ | ||
| עוֹבִי | 350±25 מיקרומטר | ||
| כיוון שטוח ראשוני | [1-100]±5° | ||
| אורך שטוח ראשוני | 47.5±1.5 מ"מ | ||
| דירה משנית | אַף לֹא אֶחָד | ||
| TTV | ≤5 מיקרומטר | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר |
| LTV | ≤3 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤5 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤10 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) |
| קֶשֶׁת | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| לְעַקֵם | ≤35 מיקרומטר | ≤45 מיקרומטר | ≤55 מיקרומטר |
| חספוס קדמי (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| מִבְנֶה | |||
| צפיפות מיקרופייפ | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| זיהומי מתכת | ≤5E10אטומים/סמ"ר | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| איכות חזית | |||
| חֲזִית | Si | ||
| גימור פני השטח | Si-Face CMP | ||
| חלקיקים | ≤60ea/wafer (גודל≥0.3μm) | NA | |
| שריטות | ≤5ea/mm. אורך מצטבר ≤קוטר | אורך מצטבר≤2*קוטר | NA |
| קליפת תפוז / חרצנים / כתמים / פסים / סדקים / זיהום | אַף לֹא אֶחָד | NA | |
| שבבי קצה/חריצים/שבר/צלחות משושה | אַף לֹא אֶחָד | ||
| אזורים פוליטיפיים | אַף לֹא אֶחָד | שטח מצטבר ≤20% | שטח מצטבר ≤30% |
| סימון לייזר קדמי | אַף לֹא אֶחָד | ||
| איכות גב | |||
| גימור אחורי | C-face CMP | ||
| שריטות | ≤5ea/mm, אורך מצטבר≤2*קוטר | NA | |
| פגמים בגב (שבבי קצה/חריצים) | אַף לֹא אֶחָד | ||
| חספוס גב | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| סימון לייזר אחורי | 1 מ"מ (מהקצה העליון) | ||
| קָצֶה | |||
| קָצֶה | Chamfer | ||
| אריזה | |||
| אריזה | אפי מוכן עם אריזת ואקום אריזת קסטות מרובות ופל | ||
| *הערות: "NA" פירושו ללא בקשה פריטים שאינם מוזכרים עשויים להתייחס ל-SEMI-STD. | |||
