Float Zone Wafer גדל בשיטת Floating Zone Melting (שיטת Flooat Zone melting), הידועה גם בשם zone melting wafer, FZ wafer, היא רקיקת סיליקון בטוהר גבוה, שיכולה להחליף את תהליך ה-CZ חד-גביש שנמשך ישר של פרוסות סיליקון.בהשוואה לפרוסות המיוצרות בשיטת CZ, לפרוסות אזוריות יתרונות רבים, כגון ללא כור היתוך, עומס ייצור נמוך וללא הגבלת נקודת התכה, מה שהופך אותם לאידיאליים עבור יישומים כגון מודולים סולאריים, התקני RF והתקני כוח דיוק.ריכוז זיהומי החמצן והפחמן בפרוסות FZ נמוך, וחנקן מתווסף במיוחד כדי לשפר את החוזק המכני שלו.
פריט | טַעֲנָה | חקירה לדוגמה |
כַּמוּת: |
| 100 יחידות |
שיטת צמיחה: | אזור צף | FZ |
קוֹטֶר: | 50/75/100/150/200/300 מ"מ | 100 מ"מ |
סוג/תרופת: | P-Type / N-Type / Intrinsic | N-Type |
נטייה: | <1-0-0>/<1-1-0>/<1-1-1>或其它 | <100> |
הִתנַגְדוּת סְגוּלִית: | 100~30,000 אוהם-ס"מ | 3000 אוהם-ס"מ |
עוֹבִי: | 275 אום ~ 775 אום | 500 אום |
סיים: | SSP/DSP | DSP |
דירות: | Notch/Two SEMI Standard Flats | לַחֲרוֹץ |
BOW/WRP: | <10 מיקרומטר | <40 אמ |
TTV: | <5 מיקרומטר | <20 אמ |
כיתה: | ראשי / מבחן / דמה | רִאשׁוֹנִי |