תכונות עיקריות:
1. עמידות חמצון בטמפרטורה גבוהה:
עמידות החמצון עדיין טובה מאוד כאשר הטמפרטורה גבוהה עד 1600 C.
2. טוהר גבוה: נעשה על ידי שקיעת אדים כימית בתנאי הכלרה בטמפרטורה גבוהה.
3. עמידות בשחיקה: קשיות גבוהה, משטח קומפקטי, חלקיקים עדינים.
4. עמידות בפני קורוזיה: חומצה, אלקלי, מלח וריאגנטים אורגניים.
מפרטים עיקריים שלציפוי CVD-SIC
| מאפייני SiC-CVD | ||
| מבנה קריסטל | שלב β של FCC | |
| צְפִיפוּת | g/cm ³ | 3.21 |
| קַשִׁיוּת | קשיות ויקרס | 2500 |
| גודל גרגר | מיקרומטר | 2~10 |
| טוהר כימי | % | 99.99995 |
| קיבולת חום | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| טמפרטורת סובלימציה | ℃ | 2700 |
| חוזק פלקסואלי | MPa (RT 4 נקודות) | 415 |
| המודולוס של יאנג | GPA (עיקול 4 נקודות, 1300℃) | 430 |
| התרחבות תרמית (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| מוליכות תרמית | (W/mK) | 300 |
