אפיטקסי LED כחול/ירוק מבית semicera מציע פתרונות חדישים לייצור LED בעל ביצועים גבוהים. תוכנן לתמוך בתהליכי צמיחה אפיתקסיאליים מתקדמים, טכנולוגיית ה-LED הכחול/הירוקה של semicera משפרת את היעילות והדיוק בייצור נוריות LED כחולות וירוקות, קריטיות עבור יישומים אופטואלקטרוניים שונים. תוך שימוש ב-Si Epitaxy ו-SiC Epitaxy, פתרון זה מבטיח איכות ועמידות מצוינות.
בתהליך הייצור, MOCVD Susceptor ממלא תפקיד מכריע, יחד עם רכיבים כמו PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier ו-RTP Carrier, אשר מייעלים את סביבת הצמיחה האפיטקסיאלית. ה-LED הכחול/ירוק של Semicera מתוכנן לספק תמיכה יציבה ל-LED Epitaxial Susceptor, Barrel sceptor ו-Monocrystalline Silicon, מה שמבטיח ייצור של תוצאות עקביות ואיכותיות.
תהליך אפיטקסיה זה חיוני ליצירת חלקים פוטו-וולטאיים ותומך ביישומים כגון GaN on SiC Epitaxy, המשפר את היעילות הכוללת של מוליכים למחצה. בין אם בתצורת Pancake Susceptor או בשימוש בהגדרות מתקדמות אחרות, פתרונות ה-LED כחול/ירוק של semicera מציעים ביצועים אמינים, ועוזרים ליצרנים לעמוד בדרישה הגוברת לרכיבי LED איכותיים.
מאפיינים עיקריים:
1. עמידות חמצון בטמפרטורה גבוהה:
עמידות החמצון עדיין טובה מאוד כאשר הטמפרטורה גבוהה עד 1600 C.
2. טוהר גבוה: נעשה על ידי שקיעת אדים כימית בתנאי הכלרה בטמפרטורה גבוהה.
3. עמידות בשחיקה: קשיות גבוהה, משטח קומפקטי, חלקיקים עדינים.
4. עמידות בפני קורוזיה: חומצה, אלקלי, מלח וריאגנטים אורגניים.
מפרטים עיקריים שלציפוי CVD-SIC
| מאפייני SiC-CVD | ||
| מבנה קריסטל | שלב β של FCC | |
| צְפִיפוּת | g/cm ³ | 3.21 |
| קַשִׁיוּת | קשיות ויקרס | 2500 |
| גודל גרגר | מיקרומטר | 2~10 |
| טוהר כימי | % | 99.99995 |
| קיבולת חום | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| טמפרטורת סובלימציה | ℃ | 2700 |
| חוזק פלקסואלי | MPa (RT 4 נקודות) | 415 |
| המודולוס של יאנג | GPA (עיקול 4 נקודות, 1300℃) | 430 |
| התרחבות תרמית (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| מוליכות תרמית | (W/mK) | 300 |
