זרוע לטיפול בפרוסותהוא ציוד מפתח המשמש בתהליך ייצור המוליכים למחצה לטיפול, העברה ומיקוםופלים. לרוב הוא מורכב מזרוע רובוטית, תפסן ומערכת בקרה, עם יכולות תנועה ומיקום מדויקות.זרועות לטיפול בפרוסותנמצאים בשימוש נרחב בקישורים שונים בייצור מוליכים למחצה, כולל שלבי תהליך כגון טעינת פרוסות, ניקוי, שקיעת סרט דק, תחריט, ליטוגרפיה ובדיקה. הדיוק, האמינות ויכולות האוטומציה שלו חיוניות כדי להבטיח את האיכות, היעילות והעקביות של תהליך הייצור.
הפונקציות העיקריות של זרוע הטיפול בפרוסים כוללות:
1. העברת פרוסות: זרוע הטיפול בפרוסים מסוגלת להעביר במדויק פרוסות ממקום אחד לאחר, כגון לקיחת ופלים מתלה אחסון והצבתם במכשיר עיבוד.
2. מיקום וכיוון: זרוע הטיפול בפרוסים מסוגלת למקם ולכוון את הפרוסה במדויק כדי להבטיח יישור ומיקום נכונים עבור פעולות עיבוד או מדידה עוקבות.
3. הידוק ושחרור: זרועות לטיפול בפרוסים מצוידות בדרך כלל באוחזים שיכולים להדק בבטחה פרוסות ולשחרר אותן בעת הצורך כדי להבטיח העברה וטיפול בטוחים בפרוסות.
4. בקרה אוטומטית: זרוע הטיפול בפרוסים מצוידת במערכת בקרה מתקדמת שיכולה לבצע אוטומטית רצפי פעולה שנקבעו מראש, לשפר את יעילות הייצור ולהפחית טעויות אנוש.
מאפיינים ויתרונות
1. מידות מדויקות ויציבות תרמית.
2. קשיחות ספציפית גבוהה ואחידות תרמית מעולה, שימוש לטווח ארוך לא קל לכופף דפורמציה.
3. יש לו משטח חלק ועמידות בפני שחיקה טובה, ובכך מטפל בבטחה בשבב ללא זיהום חלקיקים.
4. התנגדות סיליקון קרביד ב-106-108Ω, לא מגנטית, בהתאם לדרישות מפרט אנטי-ESD; זה יכול למנוע הצטברות של חשמל סטטי על פני השבב.
5. מוליכות תרמית טובה, מקדם התפשטות נמוך.
