עיבוד MEMS - מליטה: יישום וביצועים בתעשיית המוליכים למחצה, שירות מותאם אישית של Semicera
בתעשיות המיקרו-אלקטרוניקה והמוליכים למחצה, טכנולוגיית MEMS (מערכות מיקרו-אלקטרו-מכאניות) הפכה לאחת מטכנולוגיות הליבה המניעות חדשנות וציוד בעל ביצועים גבוהים. עם התקדמות המדע והטכנולוגיה, נעשה שימוש נרחב בטכנולוגיית MEMS בחיישנים, מפעילים, מכשירים אופטיים, ציוד רפואי, אלקטרוניקה לרכב ותחומים אחרים, והפכה בהדרגה לחלק הכרחי מהטכנולוגיה המודרנית. בתחומים אלו, תהליך ההתקשרות (Bonding), כשלב מרכזי בעיבוד MEMS, ממלא תפקיד חיוני בביצועים ובאמינות המכשיר.
הדבקה היא טכנולוגיה המשלבת בחוזקה שני חומרים או יותר באמצעים פיזיים או כימיים. בדרך כלל, שכבות חומר שונות צריכות להיות מחוברות על ידי הדבקה במכשירי MEMS כדי להשיג שלמות מבנית ומימוש פונקציונלי. בתהליך הייצור של מכשירי MEMS, חיבור הוא לא רק תהליך חיבור, אלא גם משפיע ישירות על היציבות התרמית, החוזק המכני, הביצועים החשמליים והיבטים אחרים של המכשיר.
בעיבוד MEMS ברמת דיוק גבוהה, טכנולוגיית ההדבקה צריכה להבטיח את החיבור ההדוק בין החומרים תוך הימנעות מכל פגמים המשפיעים על ביצועי המכשיר. לכן, שליטה מדויקת בתהליך ההדבקה וחומרי הדבקה איכותיים הם גורמי מפתח כדי להבטיח שהמוצר הסופי עומד בתקני התעשייה.
יישומי מליטה של MEMS בתעשיית המוליכים למחצה
בתעשיית המוליכים למחצה, טכנולוגיית MEMS נמצאת בשימוש נרחב בייצור של מכשירים מיקרו כגון חיישנים, מדי תאוצה, חיישני לחץ וג'ירוסקופים. עם הביקוש הגובר למוצרים ממוזערים, משולבים וחכמים, גם דרישות הדיוק והביצועים של התקני MEMS גדלות. ביישומים אלה, נעשה שימוש בטכנולוגיית מליטה לחיבור חומרים שונים כגון פרוסות סיליקון, זכוכית, מתכות ופולימרים כדי להשיג פונקציות יעילות ויציבות.
1. חיישני לחץ ומדדי תאוצה
בתחומי הרכב, תעופה וחלל, מוצרי אלקטרוניקה וכו', חיישני לחץ ומד תאוצה של MEMS נמצאים בשימוש נרחב במערכות מדידה ובקרה. תהליך ההדבקה משמש לחיבור שבבי סיליקון ורכיבי חיישן כדי להבטיח רגישות ודיוק גבוהים. חיישנים אלו חייבים להיות מסוגלים לעמוד בתנאי סביבה קיצוניים, ותהליכי הדבקה איכותיים יכולים למעשה למנוע ניתוק חומרים או תקלות עקב שינויי טמפרטורה.
2. מכשירים מיקרו-אופטיים ומתגים אופטיים MEMS
בתחום התקשורת האופטית ומכשירי הלייזר, התקנים האופטיים והמתגים האופטיים של MEMS ממלאים תפקיד חשוב. טכנולוגיית הדבקה משמשת להשגת חיבור מדויק בין התקני MEMS מבוססי סיליקון וחומרים כגון סיבים אופטיים ומראות כדי להבטיח את היעילות והיציבות של העברת אותות אופטיים. במיוחד ביישומים עם תדר גבוה, רוחב פס רחב ושידור למרחקים ארוכים, טכנולוגיית מליטה בעלת ביצועים גבוהים היא חיונית.
3. גירוסקופים של MEMS וחיישני אינרציה
גירוסקופים של MEMS וחיישני אינרציה נמצאים בשימוש נרחב לניווט ומיקום מדויקים בתעשיות מתקדמות כגון נהיגה אוטונומית, רובוטיקה ותעופה וחלל. תהליכי חיבור ברמת דיוק גבוהה יכולים להבטיח את אמינותם של מכשירים ולמנוע ירידה בביצועים או כשל במהלך פעולה ארוכת טווח או פעולה בתדר גבוה.
דרישות ביצועים מרכזיות של טכנולוגיית מליטה בעיבוד MEMS
בעיבוד MEMS, איכות תהליך ההדבקה קובעת ישירות את הביצועים, החיים והיציבות של המכשיר. על מנת להבטיח שמכשירי MEMS יכולים לעבוד בצורה מהימנה לאורך זמן בתרחישי יישומים שונים, טכנולוגיית החיבור חייבת להיות בעלת ביצועי המפתח הבאים:
1. יציבות תרמית גבוהה
בסביבות יישום רבות בתעשיית המוליכים למחצה יש תנאי טמפרטורה גבוהים, במיוחד בתחומי הרכב, התעופה והחלל וכו'. היציבות התרמית של חומר ההדבקה היא קריטית ויכולה לעמוד בשינויי טמפרטורה ללא השפלה או כשל.
2. עמידות בפני שחיקה גבוהה
התקני MEMS כוללים בדרך כלל מבנים מיקרו-מכניים, וחיכוך ותנועה לטווח ארוך עלולים לגרום לשחיקה של חלקי החיבור. חומר ההדבקה צריך להיות בעל עמידות בפני שחיקה מעולה כדי להבטיח את היציבות והיעילות של המכשיר בשימוש ארוך טווח.
3. טוהר גבוה
לתעשיית המוליכים למחצה יש דרישות מחמירות מאוד על טוהר החומר. כל מזהם זעיר עלול לגרום לכשל במכשיר או לפגיעה בביצועים. לכן, החומרים המשמשים בתהליך ההדבקה חייבים להיות בעלי טוהר גבוה במיוחד כדי להבטיח שהמכשיר לא יושפע מזיהום חיצוני במהלך הפעולה.
4. דיוק מליטה מדויק
התקני MEMS דורשים לעתים קרובות דיוק עיבוד ברמת מיקרון או אפילו ברמת ננומטר. תהליך ההדבקה חייב להבטיח את העגינה המדויקת של כל שכבת חומר כדי להבטיח שהתפקוד והביצועים של המכשיר לא יושפעו.
חיבור אנודי
חיבור אנודי:
● ישים לחיבור בין פרוסות סיליקון וזכוכית, מתכת וזכוכית, מוליכים למחצה וסגסוגת ומוליכים למחצה וזכוכית
קשר אוטקטואיד:
● ישים על חומרים כגון PbSn, AuSn, CuSn ו- AuSi
הדבקת דבק:
● השתמשו בדבק הדבקה מיוחד, המתאים לדבקים מיוחדים כגון AZ4620 ו-SU8
● ישים ל-4 אינץ' ו-6 אינץ'
שירות הדבקה בהתאמה אישית של Semicera
כספקית מובילה בתעשייה של פתרונות עיבוד MEMS, Semicera מחויבת לספק ללקוחות שירותי הדבקה מותאמים אישית ברמת דיוק גבוהה ויציבות גבוהה. ניתן לעשות שימוש נרחב בטכנולוגיית ההדבקה שלנו בחיבור של חומרים שונים, כולל סיליקון, זכוכית, מתכת, קרמיקה וכו', המספקת פתרונות חדשניים ליישומים מתקדמים בתחומי המוליכים למחצה וה-MEMS.
ל- Semicera ציוד ייצור מתקדם וצוותים טכניים, והיא יכולה לספק פתרונות הדבקה מותאמים אישית בהתאם לצרכים הספציפיים של הלקוחות. בין אם מדובר בחיבור אמין בטמפרטורה גבוהה ובסביבת לחץ גבוה, או בחיבור מיקרו-מכשיר מדויק, Semicera יכולה לעמוד בדרישות תהליך מורכבות שונות כדי להבטיח שכל מוצר יכול לעמוד בתקני האיכות הגבוהים ביותר.
שירות ההדבקה המותאם אישית שלנו אינו מוגבל לתהליכי הדבקה קונבנציונליים, אלא כולל גם הדבקת מתכת, הדבקת דחיסה תרמית, הדבקת דבק ותהליכים אחרים, שיכולים לספק תמיכה טכנית מקצועית לחומרים, מבנים ודרישות יישום שונות. בנוסף, Semicera יכולה גם לספק ללקוחות שירות מלא מפיתוח אב טיפוס ועד ייצור המוני כדי להבטיח שכל דרישה טכנית של לקוחות ניתנת למימוש מדויק.
