Semicera מספקת ציפויים מיוחדים של טנטלום קרביד (TaC) עבור רכיבים ומנשאים שונים.תהליך הציפוי המוביל של Semicera מאפשר לציפויי טנטלום קרביד (TaC) להשיג טוהר גבוה, יציבות טמפרטורה גבוהה וסובלנות כימית גבוהה, שיפור איכות המוצר של גבישי SIC/GAN ושכבות EPI (קולט TaC מצופה גרפיט), והארכת החיים של רכיבי כור מרכזיים. השימוש בציפוי טנטלום קרביד TaC נועד לפתור את בעיית הקצה ולשפר את איכות צמיחת הגבישים, ו-Semicera פיתחה פריצת דרך בטכנולוגיית ציפוי טנטלום קרביד (CVD), והגיעה לרמה המתקדמת הבינלאומית.
גרפיט הוא חומר מצוין בטמפרטורה גבוהה, אך הוא מתחמצן בקלות בטמפרטורות גבוהות. אפילו בתנורי ואקום עם גז אינרטי, הוא עדיין יכול לעבור חמצון איטי. שימוש בציפוי CVD טנטלום קרביד (TaC) יכול להגן ביעילות על מצע הגרפיט, לספק את אותה עמידות בטמפרטורה גבוהה כמו גרפיט. TaC הוא גם חומר אינרטי, כלומר הוא לא יגיב עם גזים כמו ארגון או מימן בטמפרטורות גבוהות.חֲקִירָהTantalum Carbide CVD Coating EPI Susceptor עַכשָׁיו!
עם ובלי TaC
לאחר שימוש ב-Tac (מימין)
יתר על כן, של Semiceraמוצרים מצופים ב-Tacמציגים חיי שירות ארוכים יותר ועמידות גבוהה יותר בטמפרטורה גבוהה בהשוואה לציפויי SiC.מדידות מעבדה הוכיחו כי שלנוציפויי TaCיכול לפעול באופן עקבי בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס לתקופות ממושכות. להלן כמה דוגמאות לדוגמאות שלנו:
