לוחית תמיכה מצופה טנטלום קרבידהוא מבנה סוספט או תומך המכוסה בשכבה דקה שלטנטלום קרביד. ציפוי זה יכול להיווצר על פני המושך על ידי טכניקות כמו שקיעת אדים פיזיקלית (PVD) או שקיעת אדים כימית (CVD), המעניקה לקולטן את התכונות המעולות שלטנטלום קרביד.
Semicera מספקת ציפויים מיוחדים של טנטלום קרביד (TaC) עבור רכיבים ומנשאים שונים.תהליך הציפוי המוביל של Semicera מאפשר לציפויי טנטלום קרביד (TaC) להשיג טוהר גבוה, יציבות טמפרטורה גבוהה וסובלנות כימית גבוהה, שיפור איכות המוצר של גבישי SIC/GAN ושכבות EPI (קולט TaC מצופה גרפיט), והארכת החיים של רכיבי כור מרכזיים. השימוש בציפוי טנטלום קרביד TaC נועד לפתור את בעיית הקצה ולשפר את איכות צמיחת הגבישים, ו-Semicera פיתחה פריצת דרך בטכנולוגיית ציפוי טנטלום קרביד (CVD), והגיעה לרמה המתקדמת הבינלאומית.
המאפיינים העיקריים של לוחות בסיס מצופים טנטלום קרביד כוללים:
1. יציבות בטמפרטורה גבוהה: לטנטלום קרביד יציבות מצוינת בטמפרטורה גבוהה, מה שהופך את לוחית התמיכה הבסיסית המצופה למתאימה לצרכי תמיכה בסביבות עבודה בטמפרטורה גבוהה.
2. עמידות בפני קורוזיה: ציפוי טנטלום קרביד בעל עמידות בפני קורוזיה טובה, יכול לעמוד בפני קורוזיה וחמצון כימיים ולהאריך את חיי השירות של הבסיס.
3. קשיות גבוהה ועמידות בפני שחיקה: הקשיות הגבוהה של ציפוי טנטלום קרביד מעניקה לצלחת התמיכה הבסיסית עמידות טובה בפני שחיקה, המתאימה לאירועים הדורשים עמידות בפני שחיקה גבוהה.
4. יציבות כימית: לטנטלום קרביד יציבות גבוהה למגוון חומרים כימיים, מה שגורם לצלחת התמיכה הבסיסית המצופה לתפקד היטב בסביבות קורוזיביות מסוימות.
עם ובלי TaC
לאחר שימוש ב-Tac (מימין)
יתר על כן, של Semiceraמוצרים מצופים ב-Tacמציגים חיי שירות ארוכים יותר ועמידות גבוהה יותר בטמפרטורה גבוהה בהשוואה לציפויי SiC.מדידות מעבדה הוכיחו כי שלנוציפויי TaCיכול לפעול באופן עקבי בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס לתקופות ממושכות. להלן כמה דוגמאות לדוגמאות שלנו:
