יריעת גרפיט מצופה טנטלום קרבידהוא חומר גרפיט עם שכבה דקה שלטנטלום קרבידעל פני המצע. השכבה הדקה של טנטלום קרביד נוצרת בדרך כלל על פני מצע הגרפיט על ידי טכניקות כמו שקיעת אדים פיזית (PVD) או שקיעה כימית (CVD). לציפוי זה תכונות מצוינות כגון קשיות גבוהה, עמידות בפני שחיקה מעולה, עמידות בפני קורוזיה ויציבות בטמפרטורה גבוהה.
Semicera מספקת ציפויים מיוחדים של טנטלום קרביד (TaC) עבור רכיבים ומנשאים שונים.תהליך הציפוי המוביל של Semicera מאפשר לציפויי טנטלום קרביד (TaC) להשיג טוהר גבוה, יציבות טמפרטורה גבוהה וסובלנות כימית גבוהה, שיפור איכות המוצר של גבישי SIC/GAN ושכבות EPI (קולט TaC מצופה גרפיט), והארכת החיים של רכיבי כור מרכזיים. השימוש בציפוי טנטלום קרביד TaC נועד לפתור את בעיית הקצה ולשפר את איכות צמיחת הגבישים, ו-Semicera פיתחה פריצת דרך בטכנולוגיית ציפוי טנטלום קרביד (CVD), והגיעה לרמה המתקדמת הבינלאומית.
היתרונות העיקריים של יריעת גרפיט מצופה טנטלום קרביד כוללים:
1. עמידות בטמפרטורה גבוהה: לטנטלום קרביד נקודת התכה גבוהה ויציבות מעולה בטמפרטורה גבוהה, מה שהופך את יריעת הגרפיט המצופה למתאימה לשימוש בסביבות טמפרטורות גבוהות.
2. עמידות בפני קורוזיה: ציפוי טנטלום קרביד יכול לעמוד בפני שחיקה של חומרים קורוזיביים כימיים רבים ולהאריך את חיי השירות של החומר.
3. קשיות גבוהה: הקשיות הגבוהה של שכבת הטנטלום קרביד הדקה מספקת עמידות בפני שחיקה טובה ומתאימה ליישומים הדורשים עמידות בפני שחיקה גבוהה.
4. יציבות כימית: ציפוי טנטלום קרביד בעל יציבות מצוינת בפני קורוזיה כימית ומתאים לשימוש בכמה אמצעים קורוזיביים.
עם ובלי TaC
לאחר שימוש ב-Tac (מימין)
יתר על כן, של Semiceraמוצרים מצופים ב-Tacמציגים חיי שירות ארוכים יותר ועמידות גבוהה יותר בטמפרטורה גבוהה בהשוואה לציפויי SiC.מדידות מעבדה הוכיחו כי שלנוציפויי TaCיכול לפעול באופן עקבי בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס לתקופות ממושכות. להלן כמה דוגמאות לדוגמאות שלנו:
