SemiceraTaC Coating Chuck, צ'אק הוואקום החדיש המצויד בציפויי TaC, תוכנן במיוחד עבור תנורים מוליכים למחצה. טכנולוגיה חדשנית זו, שנועדה לעמוד בדרישות הקפדניות של תהליכי ייצור מוליכים למחצה מודרניים, מציבה סטנדרט חדש לדיוק, אמינות ואריכות ימים.
בלב ייצור המוליכים למחצה עומד הצורך הקריטי בשליטה מדויקת ויציבות במהלך העיבוד. ה-TaC Coating Chuck נותן מענה לצורך זה על ידי שילוב מתקדמיםציפויי TaC (Tantalum Carbide).על פני השטח שלו, מה שמבטיח יציבות תרמית יוצאת דופן, עמידות ועמידות בפני קורוזיה כימית. שילוב ייחודי זה של חומרים לא רק משפר את ביצועי הצ'אק אלא גם מאריך את תוחלת החיים שלו, ומספק תוצאות עקביות על פני אינספור מחזורים.
אחד היתרונות המרכזיים של ה-Tac Coating Chuck הוא היכולת שלו לשמור על רמה גבוהה של שלמות ואקום לאורך כל מחזור העיבוד. על ידי מזעור יעיל של הוצאת גז וזיהום, טכנולוגיה זו מבטיחה את הטוהר והאיכות של חומרי המוליכים למחצה, מה שמביא לביצועים ואמינות מעולים של המכשיר.
יתר על כן, ה-Tac Coating Chuck מציע צדדיות ללא תחרות, ומתאים למגוון רחב של מצעים מוליכים למחצה עם גדלים וגיאומטריות משתנות. העיצוב הניתן להתאמה אישית של ה-Tac Coating Chuck מאפשר אינטגרציה חלקה במערכות קיימות של תנורי מוליכים למחצה, מזעור זמן ההשבתה ומקסום הפרודוקטיביות.
עם ה-Tac Coating Chuck, יצרני מוליכים למחצה יכולים להשיג תפוקה גבוהה יותר, תשואה משופרת והפחתת עלויות כוללות. בין אם במעבדות מחקר או במתקני ייצור בנפח גבוה, טכנולוגיה מתקדמת זו מעצימה אנשי מקצוע מוליכים למחצה לדחוף את גבולות החדשנות תוך שמירה על תקני איכות מחמירים.
עם ובלי TaC
לאחר שימוש ב-Tac (מימין)
יתר על כן, של Semiceraמוצרים מצופים ב-Tacמציגים חיי שירות ארוכים יותר ועמידות גבוהה יותר בטמפרטורה גבוהה בהשוואה לציפויי SiC.מדידות מעבדה הוכיחו כי שלנוציפויי TaCיכול לפעול באופן עקבי בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס לתקופות ממושכות. להלן כמה דוגמאות לדוגמאות שלנו:
