Semicera מספקת ציפויים מיוחדים של טנטלום קרביד (TaC) עבור רכיבים ומנשאים שונים.תהליך הציפוי המוביל של Semicera מאפשר לציפויי טנטלום קרביד (TaC) להשיג טוהר גבוה, יציבות טמפרטורה גבוהה וסובלנות כימית גבוהה, שיפור איכות המוצר של גבישי SIC/GAN ושכבות EPI (קולט TaC מצופה גרפיט), והארכת החיים של רכיבי כור מרכזיים. השימוש בציפוי טנטלום קרביד TaC נועד לפתור את בעיית הקצה ולשפר את איכות צמיחת הגבישים, ו-Semicera פיתחה פריצת דרך בטכנולוגיית ציפוי טנטלום קרביד (CVD), והגיעה לרמה המתקדמת הבינלאומית.
מנשאי פרוסות מצופים טנטלום קרביד נמצאים בשימוש נרחב בתהליכי עיבוד וטיפול פרוסות בתהליכי ייצור מוליכים למחצה. הם מספקים תמיכה והגנה יציבות כדי להבטיח את הבטיחות, הדיוק והעקביות של פרוסות במהלך תהליך הייצור. ציפוי טנטלום קרביד יכול להאריך את חיי השירות של המוביל, להפחית עלויות ולשפר את האיכות והאמינות של מוצרי מוליכים למחצה.
תיאור מנשא פרוסות מצופה טנטלום קרביד הוא כדלקמן:
1. בחירת חומר: טנטלום קרביד הוא חומר בעל ביצועים מצוינים, קשיות גבוהה, נקודת התכה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה ותכונות מכניות מצוינות, ולכן נעשה בו שימוש נרחב בתהליך ייצור מוליכים למחצה.
2. ציפוי פני השטח: ציפוי טנטלום קרביד מיושם על פני השטח של מנשא פרוסות באמצעות תהליך ציפוי מיוחד ליצירת ציפוי טנטלום קרביד אחיד וצפוף. ציפוי זה יכול לספק הגנה נוספת ועמידות בפני שחיקה, תוך מוליכות תרמית טובה.
3. שטוחות ודיוק: למנשא פרוסות מצופה טנטלום קרביד יש רמה גבוהה של שטוחות ודיוק, מה שמבטיח את היציבות והדיוק של פרוסות במהלך תהליך הייצור. השטיחות והגימור של משטח הנשא הם קריטיים כדי להבטיח את האיכות והביצועים של הפרוסה.
4. יציבות טמפרטורה: מנשאי פרוסות מצופים טנטלום קרביד יכולים לשמור על יציבות בסביבות טמפרטורות גבוהות ללא עיוות או התרופפות, מה שמבטיח את היציבות והעקביות של פרוסות בתהליכים בטמפרטורה גבוהה.
5. עמידות בפני קורוזיה: ציפויי טנטלום קרביד בעלי עמידות מצוינת בפני קורוזיה, יכולים לעמוד בפני שחיקה של כימיקלים וממיסים, ולהגן על הנשא מפני קורוזיה נוזלים וגזים.
עם ובלי TaC
לאחר שימוש ב-Tac (מימין)
יתר על כן, של Semiceraמוצרים מצופים ב-Tacמציגים חיי שירות ארוכים יותר ועמידות גבוהה יותר בטמפרטורה גבוהה בהשוואה לציפויי SiC.מדידות מעבדה הוכיחו כי שלנוציפויי TaCיכול לפעול באופן עקבי בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס לתקופות ממושכות. להלן כמה דוגמאות לדוגמאות שלנו:
