TaC Coated Plate הוא דיסק מיוחד המיועד לשימוש בתהליכים אפיטקסיאליים של SiC, עשוי בדייקנות מחומר גרפיט איכותי. פני השטח שלו מצופים בקפידה בטנטלום קרביד (TaC), תרכובת הידועה בטוהר ובחוזק יוצאי הדופן שלה. ציפוי ה-TaC משפר את עמידות הצלחת ועמידותה לטמפרטורות גבוהות, מה שהופך אותה לאידיאלית עבור התנאים התובעניים של תהליכים אפיטקסיאליים של SiC.
צלחת מצופה TaC חדשנית זו היא דיסק מיוחד המיועד לשימוש בתהליכים אפיטקסיאליים של SiC, עשוי בדייקנות מחומר גרפיט איכותי. משטח הצלחת מצופה TaC מצופה בקפידה בטנטלום קרביד (TaC), תרכובת הידועה בטוהר ובחוזק יוצאי הדופן. משמש כפלטפורמה אמינה לנשיאת פרוסות במהלך שלבים שונים של גידול אפיטקסיאלי של SiC. בסיס הגרפיט הטוהר הגבוה שלו מספק משטח יציב ואינרטי, בעוד ציפוי ה-Tac מוסיף שכבת הגנה נוספת מפני תגובות כימיות ובלאי.
סמיתְקוּפָהTaC Coated Plate מותאמת אישית בהתאם לדרישות הספציפיות של הלקוחות, ומבטיחה ביצועים ותאימות מיטביים למערכות האפיטקסיאליות של SiC. בין אם מדובר בגודל, צורה או מפרטים אחרים, הלוחות הללו מותאמים כדי לענות על הצרכים הייחודיים של כל יישום.
עם ובלי TaC
לאחר שימוש ב-Tac (מימין)
יתר על כן, של Semiceraמוצרים מצופים ב-Tacמציגים חיי שירות ארוכים יותר ועמידות גבוהה יותר בטמפרטורה גבוהה בהשוואה לציפויי SiC.מדידות מעבדה הוכיחו כי שלנוציפויי TaCיכול לפעול באופן עקבי בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס לתקופות ממושכות. להלן כמה דוגמאות לדוגמאות שלנו:
