Semicera מספקת ציפויים מיוחדים של טנטלום קרביד (TaC) עבור רכיבים ומנשאים שונים.תהליך הציפוי המוביל של Semicera מאפשר לציפויי טנטלום קרביד (TaC) להשיג טוהר גבוה, יציבות טמפרטורה גבוהה וסובלנות כימית גבוהה, שיפור איכות המוצר של גבישי SIC/GAN ושכבות EPI (קולט TaC מצופה גרפיט), והארכת החיים של רכיבי כור מרכזיים. השימוש בציפוי טנטלום קרביד TaC נועד לפתור את בעיית הקצה ולשפר את איכות צמיחת הגבישים, ו-Semicera פיתחה פריצת דרך בטכנולוגיית ציפוי טנטלום קרביד (CVD), והגיעה לרמה המתקדמת הבינלאומית.
עם הופעתם של פרוסות סיליקון קרביד (SiC) בגודל 8 אינץ', הדרישות לתהליכי מוליכים למחצה שונים הפכו מחמירות יותר ויותר, במיוחד עבור תהליכי אפיטקסיה שבהם הטמפרטורות יכולות לעלות על 2000 מעלות צלזיוס. חומרים סופגים מסורתיים, כגון גרפיט מצופה בסיליקון קרביד, נוטים להסתלבט בטמפרטורות גבוהות אלו, ומשבשים את תהליך האפיטקסיה. עם זאת, CVD טנטלום קרביד (TaC) מטפל בבעיה זו ביעילות, עמיד בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס ומציע חיי שירות ארוכים יותר. צור קשר עם Semicera's Tantalum Carbide TaC CVD Coating Wafer Susceptorלחקור עוד על הפתרונות המתקדמים שלנו.
עם ובלי TaC
לאחר שימוש ב-Tac (מימין)
יתר על כן, של Semiceraמוצרים מצופים ב-Tacמציגים חיי שירות ארוכים יותר ועמידות גבוהה יותר בטמפרטורה גבוהה בהשוואה לציפויי SiC.מדידות מעבדה הוכיחו כי שלנוציפויי TaCיכול לפעול באופן עקבי בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס לתקופות ממושכות. להלן כמה דוגמאות לדוגמאות שלנו:
