ציפוי CVD TaC

מבוא לציפוי CVD TaC:

CVD TaC Coating היא טכנולוגיה המשתמשת בשקיעת אדים כימית להנחת ציפוי טנטלום קרביד (TaC) על פני המצע. טנטלום קרביד הוא חומר קרמי בעל ביצועים גבוהים עם תכונות מכניות וכימיות מצוינות. תהליך CVD יוצר סרט TaC אחיד על פני המצע באמצעות תגובת גז.

תכונות עיקריות:

קשיות מעולה ועמידות בפני שחיקה: לקרביד טנטלום קשיות גבוהה במיוחד, וציפוי CVD TaC יכול לשפר משמעותית את עמידות הבלאי של המצע. זה הופך את הציפוי לאידיאלי עבור יישומים בסביבות שחיקה גבוהות, כגון כלי חיתוך ותבניות.

יציבות בטמפרטורה גבוהה: ציפויי TaC מגנים על רכיבי תנור וכור קריטיים בטמפרטורות של עד 2200 מעלות צלזיוס, ומפגינים יציבות טובה. הוא שומר על יציבות כימית ומכאנית בתנאי טמפרטורה קיצוניים, מה שהופך אותו למתאים לעיבוד בטמפרטורה גבוהה ויישומים בסביבות בטמפרטורה גבוהה.

יציבות כימית מעולה: לטנטלום קרביד עמידות חזקה בפני קורוזיה לרוב החומצות והאלקליות, וציפוי CVD TaC יכול למנוע ביעילות נזק למצע בסביבות קורוזיביות.

נקודת התכה גבוהה: לקרביד טנטלום נקודת התכה גבוהה (כ-3880 מעלות צלזיוס), המאפשרת שימוש בציפוי CVD TaC בתנאי טמפרטורה קיצונית גבוהה מבלי להימס או להתכלות.

מוליכות תרמית מעולה: ציפוי TaC בעל מוליכות תרמית גבוהה, המסייעת לפיזור יעיל של חום בתהליכים בטמפרטורה גבוהה ולמנוע התחממות יתר מקומית.

יישומים פוטנציאליים:

• רכיבי כור CVD אפיטקסיאליים של גליום ניטריד (GaN) וסיליקון קרביד, כולל נושאות פרוסות, צלחות לווין, ראשי מקלחת, תקרות וקולטים

• רכיבי צמיחת גבישים של סיליקון קרביד, גליום ניטריד ואלומיניום ניטריד (AlN), כולל כור היתוך, מחזיקי זרעים, טבעות מובילות ומסננים

• רכיבים תעשייתיים הכוללים גופי חימום התנגדות, חרירי הזרקה, טבעות מיסוך וג'יגות הלחמה

תכונות אפליקציה:

• טמפרטורה יציבה מעל 2000°C, המאפשרת פעולה בטמפרטורות קיצוניות
•עמיד בפני מימן (Hz), אמוניה (NH3), מונוסילאן (SiH4) וסיליקון (Si), מספק הגנה בסביבות כימיות קשות
• העמידות בפני זעזועים תרמיים מאפשרת מחזורי פעולה מהירים יותר
• לגרפיט הידבקות חזקה המבטיחה חיי שירות ארוכים וללא דה למינציה של הציפוי.
• טוהר גבוה במיוחד לסילוק זיהומים או מזהמים מיותרים
• כיסוי ציפוי קונפורמי לסובלנות מימדית הדוקה

מפרט טכני:

הכנת ציפויי טנטלום קרביד צפופים על ידי CVD: