קולט מצופה טנטלום קרביד (TaC) עבור ציוד אפיטקסי

תיאור קצר:

גרפיט הוא חומר מצוין בטמפרטורה גבוהה, אך הוא מתחמצן בקלות בטמפרטורות גבוהות. אפילו בתנורי ואקום עם גז אינרטי, הוא עדיין יכול לעבור חמצון איטי. שימוש בציפוי CVD טנטלום קרביד (TaC) יכול להגן ביעילות על מצע הגרפיט, לספק את אותה עמידות בטמפרטורה גבוהה כמו גרפיט. TaC הוא גם חומר אינרטי, כלומר הוא לא יגיב עם גזים כמו ארגון או מימן בטמפרטורות גבוהות.חקירה טנטלום קרביד (TaC) קולט מצופה לציוד אפיטקסי עַכשָׁיו!

 

 


פירוט המוצר

תגיות מוצר

Semicera מספקת ציפויים מיוחדים של טנטלום קרביד (TaC) עבור רכיבים ומנשאים שונים.תהליך הציפוי המוביל של Semicera מאפשר לציפויי טנטלום קרביד (TaC) להשיג טוהר גבוה, יציבות טמפרטורה גבוהה וסובלנות כימית גבוהה, שיפור איכות המוצר של גבישי SIC/GAN ושכבות EPI (קולט TaC מצופה גרפיט), והארכת החיים של רכיבי כור מרכזיים. השימוש בציפוי טנטלום קרביד TaC נועד לפתור את בעיית הקצה ולשפר את איכות צמיחת הגבישים, ו-Semicera פיתחה פריצת דרך בטכנולוגיית ציפוי טנטלום קרביד (CVD), והגיעה לרמה המתקדמת הבינלאומית.

 

לאחר שנים של פיתוח, Semicera כבשה את הטכנולוגיה שלCVD TaCבמאמצים משותפים של מחלקת המו"פ. קל להתרחש פגמים בתהליך הצמיחה של פרוסות SiC, אך לאחר השימושTaC, ההבדל הוא משמעותי. להלן השוואה של פרוסות עם ובלי TaC, כמו גם חלקים של Simicera לצמיחת גביש בודד.

微信图片_20240227150045

עם ובלי TaC

微信图片_20240227150053

לאחר שימוש ב-Tac (מימין)

יתר על כן, של Semiceraמוצרים מצופים ב-Tacמציגים חיי שירות ארוכים יותר ועמידות גבוהה יותר בטמפרטורה גבוהה בהשוואה לציפויי SiC.מדידות מעבדה הוכיחו כי שלנוציפויי TaCיכול לפעול באופן עקבי בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס לתקופות ממושכות. להלן כמה דוגמאות לדוגמאות שלנו:

 
0(1)
מקום עבודה של Semicera
מקום עבודה של Semicera 2
מכונת ציוד
בית מוצרי סמיקרה
עיבוד CNN, ניקוי כימי, ציפוי CVD
השירות שלנו

  • קוֹדֵם:
  • הַבָּא: