טבעות מובילות גרפיט מצופות TaCמתייחסים לתצהיר של שכבה דקה שלטנטלום קרבידעל פני השטח של טבעת מנחה גרפיט כדי לשפר את עמידות הבלאי שלה, עמידות בטמפרטורה גבוהה ויציבות כימית. ציפוי זה נוצר בדרך כלל על פני השטח של טבעת מנחה גרפיט על ידי טכניקות כמו שקיעת אדים פיזית (PVD) או שקיעת אדים כימית (CVD).
Semicera מספקת ציפויים מיוחדים של טנטלום קרביד (TaC) עבור רכיבים ומנשאים שונים.תהליך הציפוי המוביל של Semicera מאפשר לציפויי טנטלום קרביד (TaC) להשיג טוהר גבוה, יציבות טמפרטורה גבוהה וסובלנות כימית גבוהה, שיפור איכות המוצר של גבישי SIC/GAN ושכבות EPI (קולט TaC מצופה גרפיט), והארכת החיים של רכיבי כור מרכזיים. השימוש בציפוי טנטלום קרביד TaC נועד לפתור את בעיית הקצה ולשפר את איכות צמיחת הגבישים, ו-Semicera פיתחה פריצת דרך בטכנולוגיית ציפוי טנטלום קרביד (CVD), והגיעה לרמה המתקדמת הבינלאומית.
התכונות העיקריות של טבעות מובילות גרפיט מצופות TaC כוללות:
1. עמידות בטמפרטורה גבוהה: ציפוי TaC בעל יציבות מעולה בטמפרטורה גבוהה ויכול לשמור על יציבות בסביבות טמפרטורה גבוהה.
2. עמידות בפני שחיקה: הקשיות הגבוהה של השכבה הדקה של טנטלום קרביד מעניקה לטבעת המנחה עמידות טובה בפני שחיקה ומאריכה את חיי השירות שלה.
3. יציבות כימית: ציפוי TaC הינו בעל יציבות גבוהה בפני קורוזיה כימית, מה שהופך אותו למתאים ליישומים בכמה אמצעים קורוזיביים.
4. הפחתת החיכוך: ציפוי TaC יכול להפחית ביעילות את החיכוך בין טבעת מנחה הגרפיט לרכיבים אחרים ולשפר את היעילות של אטמים מכניים.
עם ובלי TaC
לאחר שימוש ב-Tac (מימין)
יתר על כן, של Semiceraמוצרים מצופים ב-Tacמציגים חיי שירות ארוכים יותר ועמידות גבוהה יותר בטמפרטורה גבוהה בהשוואה לציפויי SiC.מדידות מעבדה הוכיחו כי שלנוציפויי TaCיכול לפעול באופן עקבי בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס לתקופות ממושכות. להלן כמה דוגמאות לדוגמאות שלנו:
