Semicera מספקת ציפויים מיוחדים של טנטלום קרביד (TaC) עבור רכיבים ומנשאים שונים.תהליך הציפוי המוביל של Semicera מאפשר לציפויי טנטלום קרביד (TaC) להשיג טוהר גבוה, יציבות טמפרטורה גבוהה וסובלנות כימית גבוהה, שיפור איכות המוצר של גבישי SIC/GAN ושכבות EPI (קולט TaC מצופה גרפיט), והארכת החיים של רכיבי כור מרכזיים. השימוש בציפוי טנטלום קרביד TaC נועד לפתור את בעיית הקצה ולשפר את איכות צמיחת הגבישים, ו-Semicera פיתחה פריצת דרך בטכנולוגיית ציפוי טנטלום קרביד (CVD), והגיעה לרמה המתקדמת הבינלאומית.
סיליקון קרביד (SiC) הוא חומר מפתח בדור השלישי של מוליכים למחצה, אך שיעור התפוקה שלו היה גורם מגביל לצמיחת התעשייה. לאחר בדיקות מקיפות במעבדות של Semicera, נמצא ש-Tac מרוסס ומוסינט חסר את הטוהר והאחידות הנדרשים. לעומת זאת, תהליך CVD מבטיח רמת טוהר של 5 PPM ואחידות מעולה. השימוש ב-CVD TaC משפר משמעותית את קצב התפוקה של פרוסות סיליקון קרביד. נשמח לדיוניםטבעות גרפיט מצופות TaC תלת פלחים כדי להפחית עוד יותר את העלויות של פרוסות SiC.
עם ובלי TaC
לאחר שימוש ב-Tac (מימין)
יתר על כן, של Semiceraמוצרים מצופים ב-Tacמציגים חיי שירות ארוכים יותר ועמידות גבוהה יותר בטמפרטורה גבוהה בהשוואה לציפויי SiC.מדידות מעבדה הוכיחו כי שלנוציפויי TaCיכול לפעול באופן עקבי בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס לתקופות ממושכות. להלן כמה דוגמאות לדוגמאות שלנו:
