סקירת מוצר
המשוט ומנשא רקיקי סיליקון ספוג סיליקון קרביד (SiC).מתוכנן לעמוד בדרישות התובעניות של יישומי עיבוד תרמי מוליכים למחצה. מוצר זה עשוי מ-SiC בטוהר גבוה ומשופר באמצעות הספגת סיליקון, ומציע שילוב ייחודי של ביצועים בטמפרטורה גבוהה, מוליכות תרמית מעולה, עמידות בפני קורוזיה וחוזק מכני יוצא דופן.
על ידי שילוב מדע חומרים מתקדמים עם ייצור מדויק, פתרון זה מבטיח ביצועים, אמינות ועמידות מעולים עבור יצרני מוליכים למחצה.
תכונות מפתח
1.עמידות יוצאת דופן בטמפרטורה גבוהה
עם נקודת התכה העולה על 2700 מעלות צלזיוס, חומרי SiC יציבים מטבעם תחת חום קיצוני. הספגת סיליקון משפרת עוד יותר את היציבות התרמית שלהם, ומאפשרת להם לעמוד בחשיפה ממושכת לטמפרטורות גבוהות ללא היחלשות מבנית או פגיעה בביצועים.
2.מוליכות תרמית מעולה
המוליכות התרמית יוצאת הדופן של SiC ספוג סיליקון מבטיחה פיזור חום אחיד, ומפחיתה את הלחץ התרמי בשלבי עיבוד קריטיים. מאפיין זה מאריך את תוחלת חיי הציוד ומצמצם את זמן ההשבתה בייצור, מה שהופך אותו לאידיאלי עבור עיבוד תרמי בטמפרטורה גבוהה.
3.עמידות בפני חמצון וקורוזיה
שכבת תחמוצת סיליקון חזקה נוצרת באופן טבעי על פני השטח, ומספקת עמידות יוצאת דופן בפני חמצון וקורוזיה. זה מבטיח אמינות ארוכת טווח בסביבות הפעלה קשות, ומגן הן על החומר והן על הרכיבים שמסביב.
4.חוזק מכני גבוה ועמידות בפני שחיקה
SiC ספוג בסיליקון כולל חוזק לחיצה מעולה ועמידות בפני שחיקה, שומר על שלמותו המבנית בתנאי עומס גבוה וטמפרטורה גבוהה. זה מפחית את הסיכון לנזק הקשור לבלאי, ומבטיח ביצועים עקביים לאורך מחזורי שימוש ממושכים.
מפרטים
שם המוצר | SC-RSiC-Si |
חוֹמֶר | סיליקון הספגה סיליקון קרביד קומפקט (טוהר גבוה) |
יישומים | חלקים לטיפול בחום מוליכים למחצה, חלקי ציוד לייצור מוליכים למחצה |
טופס משלוח | גוף יצוק (גוף מסונן) |
הֶרכֵּב | רכוש מכני | מודול יאנג (GPa) | חוזק כיפוף (MPa) | ||
הרכב (נפח%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
82 | 18 | 800 מעלות צלזיוס | 360 | 220 | |
צפיפות נפח (ק"ג/מ"ר) | 3.02 x 103 | 1200 מעלות צלזיוס | 340 | 220 | |
טמפרטורה חסינת חום מעלות צלזיוס | 1350 | יחס פויסון | 0.18(RT) | ||
נכס תרמי | מוליכות תרמית (W/(מ· K)) | קיבולת חום ספציפית (kJ/(kg·K)) | מקדם התפשטות תרמית (1/K) | ||
RT | 220 | 0.7 | RT~700°C | 3.4 x 10-6 | |
700 מעלות צלזיוס | 60 | 1.23 | 700~1200 מעלות צלזיוס | 4.3 x10-6 |
תוכן טומאה ((ppm) | |||||||||||||
אֵלֵמֶנט | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
שיעור תוכן | 3 | <2 | <0.5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
יישומים
▪עיבוד תרמי מוליכים למחצה:אידיאלי לתהליכים כגון שקיעת אדים כימית (CVD), צמיחה אפיטקסיאלית וחישול, שבהם בקרת טמפרטורה מדויקת ועמידות החומר הם קריטיים.
▪מנשאים ומשוטים לפרוסים:עוצב כדי להחזיק ולהעביר פרוסות בצורה מאובטחת במהלך טיפולים תרמיים בטמפרטורה גבוהה.
▪סביבות הפעלה קיצוניות: מתאים להגדרות הדורשות עמידות בפני חום, חשיפה כימית ולחץ מכני.
היתרונות של SiC ספוג סיליקון
השילוב של סיליקון קרביד בטוהר גבוה וטכנולוגיית הספגה מתקדמת של סיליקון מספק יתרונות ביצועים שאין שני להם:
▪דִיוּק:משפר את הדיוק והשליטה של עיבוד מוליכים למחצה.
▪יַצִיבוּת:עמיד בסביבות קשות מבלי לפגוע בפונקציונליות.
▪אֲרִיכוּת יָמִים:מאריך את חיי השירות של ציוד לייצור מוליכים למחצה.
▪יְעִילוּת:משפר את הפרודוקטיביות על ידי הבטחת תוצאות אמינות ועקביות.
למה לבחור בפתרונות SiC הספוג סיליקון שלנו?
At Semicera, אנו מתמחים במתן פתרונות בעלי ביצועים גבוהים המותאמים לצרכים של יצרני מוליכים למחצה. ההנעה והמנשא של סיליקון קרביד ספוג סיליקון שלנו עוברים בדיקות קפדניות והבטחת איכות כדי לעמוד בתקני התעשייה. על ידי בחירת Semicera, אתה מקבל גישה לחומרים חדישים שנועדו לייעל את תהליכי הייצור שלך ולשפר את יכולות הייצור שלך.
מפרט טכני
▪הרכב החומר:סיליקון קרביד בטוהר גבוה עם הספגת סיליקון.
▪טווח טמפרטורות עבודה:עד 2700 מעלות צלזיוס.
▪ מוליכות תרמית:גבוה במיוחד לפיזור חום אחיד.
▪מאפייני התנגדות:חמצון, קורוזיה ועמיד בפני שחיקה.
▪יישומים:תואם למערכות עיבוד תרמי מוליכים למחצה שונים.
צור קשר
מוכן להעלות את תהליך ייצור המוליכים למחצה שלך? מַגָעSemiceraהיום כדי ללמוד עוד על ההנעה שלנו מסיליקון קרביד ספוג סיליקון ומנשא פרוסות.
▪אֶלֶקטרוֹנִי: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪טֵלֵפוֹן: +86-0574-8650 3783
▪מִקוּם:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High Tech, Zone, Provincie Zhejiang, 315201, China