סרט הסיליקון של Semicera הוא חומר מהונדס באיכות גבוהה שנועד לעמוד בדרישות המחמירות של תעשיית המוליכים למחצה. מיוצר מסיליקון טהור, פתרון הסרט הדק הזה מציע אחידות מעולה, טוהר גבוה ותכונות חשמליות ותרמיות יוצאות דופן. הוא אידיאלי לשימוש ביישומי מוליכים למחצה שונים, לרבות ייצור של ויק Si, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate ו-Epi-Wafer. סרט הסיליקון של Semicera מבטיח ביצועים אמינים ועקביים, מה שהופך אותו לחומר חיוני למיקרו-אלקטרוניקה מתקדמת.
איכות וביצועים מעולים עבור ייצור מוליכים למחצה
סרט הסיליקון של Semicera ידוע בחוזק מכני יוצא דופן, יציבות תרמית גבוהה ושיעורי פגמים נמוכים, כולם חיוניים בייצור מוליכים למחצה בעלי ביצועים גבוהים. בין אם נעשה בו שימוש בייצור של מכשירי Gallium Oxide (Ga2O3), AlN Wafer או Epi-Wafers, הסרט מספק בסיס חזק לשקיעת סרט דק ולצמיחה אפיטקסיאלית. התאימות שלו למצעי מוליכים למחצה אחרים כמו SiC Substrate ו-SOI Wafers מבטיחה שילוב חלק בתהליכי ייצור קיימים, ועוזרת לשמור על תפוקות גבוהות ואיכות מוצר עקבית.
יישומים בתעשיית המוליכים למחצה
בתעשיית המוליכים למחצה, סרט הסיליקון של Semicera מנוצל במגוון רחב של יישומים, מייצור של Wafer Si ו-SOI Wafer ועד לשימושים מיוחדים יותר כמו SiN Substrate ו- Epi-Wafer. הטוהר והדיוק הגבוהים של הסרט הזה הופכים אותו לחיוני בייצור של רכיבים מתקדמים המשמשים בכל דבר, החל ממיקרו-מעבדים ומעגלים משולבים ועד להתקנים אופטו-אלקטרוניים.
סרט הסיליקון ממלא תפקיד קריטי בתהליכי מוליכים למחצה כגון צמיחה אפיטקסיאלית, הדבקת פרוסות ותצהיר של סרט דק. המאפיינים האמינים שלו הם בעלי ערך במיוחד עבור תעשיות הדורשות סביבות מבוקרות ביותר, כגון חדרים נקיים במארזים מוליכים למחצה. בנוסף, ניתן לשלב את סרט הסיליקון במערכות קלטות לטיפול ושינוע יעיל של פרוסות במהלך הייצור.
אמינות ועקביות לטווח ארוך
אחד היתרונות המרכזיים בשימוש בסרט הסיליקון של Semicera הוא האמינות שלו לטווח ארוך. עם העמידות המצוינת והאיכות העקבית שלו, סרט זה מספק פתרון אמין לסביבות הפקה בנפח גבוה. בין אם הוא משמש בהתקני מוליכים למחצה בעלי דיוק גבוה או יישומים אלקטרוניים מתקדמים, סרט הסיליקון של Semicera מבטיח שיצרנים יכולים להשיג ביצועים ואמינות גבוהים במגוון רחב של מוצרים.
למה לבחור בסרט הסיליקון של Semicera?
סרט הסיליקון מבית Semicera הוא חומר חיוני ליישומים חדישים בתעשיית המוליכים למחצה. מאפייני הביצועים הגבוהים שלו, לרבות יציבות תרמית מעולה, טוהר גבוה וחוזק מכני, הופכים אותו לבחירה האידיאלית עבור יצרנים המעוניינים להשיג את הסטנדרטים הגבוהים ביותר בייצור מוליכים למחצה. מ-Si Wafer ו-SiC Substrate ועד לייצור התקני Gallium Oxide Ga2O3, הסרט הזה מספק איכות וביצועים ללא תחרות.
עם סרט הסיליקון של Semicera, אתה יכול לסמוך על מוצר העונה על הצרכים של ייצור מוליכים למחצה מודרניים, המספק בסיס אמין לדור הבא של אלקטרוניקה.
פריטים | הֲפָקָה | מֶחקָר | דֶמֶה |
פרמטרים של קריסטל | |||
פוליטייפ | 4H | ||
שגיאת כיוון פני השטח | <11-20 >4±0.15° | ||
פרמטרים חשמליים | |||
דופנט | חנקן מסוג n | ||
הִתנַגְדוּת סְגוּלִית | 0.015-0.025 אוהם·ס"מ | ||
פרמטרים מכניים | |||
קוֹטֶר | 150.0±0.2 מ"מ | ||
עוֹבִי | 350±25 מיקרומטר | ||
כיוון שטוח ראשוני | [1-100]±5° | ||
אורך שטוח ראשוני | 47.5±1.5 מ"מ | ||
דירה משנית | אַף לֹא אֶחָד | ||
TTV | ≤5 מיקרומטר | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר |
LTV | ≤3 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤5 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤10 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) |
קֶשֶׁת | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
לְעַקֵם | ≤35 מיקרומטר | ≤45 מיקרומטר | ≤55 מיקרומטר |
חספוס קדמי (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
מִבְנֶה | |||
צפיפות מיקרופייפ | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
זיהומי מתכת | ≤5E10אטומים/סמ"ר | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
איכות חזית | |||
חֲזִית | Si | ||
גימור פני השטח | Si-Face CMP | ||
חלקיקים | ≤60ea/wafer (גודל≥0.3μm) | NA | |
שריטות | ≤5ea/mm. אורך מצטבר ≤קוטר | אורך מצטבר≤2*קוטר | NA |
קליפת תפוז / חרצנים / כתמים / פסים / סדקים / זיהום | אַף לֹא אֶחָד | NA | |
שבבי קצה/חריצים/שבר/צלחות משושה | אַף לֹא אֶחָד | ||
אזורים פוליטיפיים | אַף לֹא אֶחָד | שטח מצטבר ≤20% | שטח מצטבר ≤30% |
סימון לייזר קדמי | אַף לֹא אֶחָד | ||
איכות גב | |||
גימור אחורי | C-face CMP | ||
שריטות | ≤5ea/mm, אורך מצטבר≤2*קוטר | NA | |
פגמים בגב (שבבי קצה/חריצים) | אַף לֹא אֶחָד | ||
חספוס גב | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
סימון לייזר אחורי | 1 מ"מ (מהקצה העליון) | ||
קָצֶה | |||
קָצֶה | Chamfer | ||
אריזה | |||
אריזה | אפי מוכן עם אריזת ואקום אריזת קסטות מרובות ופל | ||
*הערות: "NA" פירושו ללא בקשה פריטים שאינם מוזכרים עשויים להתייחס ל-SEMI-STD. |