תֵאוּר
המאפיינים של ראשי מקלחת SiC הם כדלקמן:
1. עמידות בפני קורוזיה: לחומר SiC עמידות מצוינת בפני קורוזיה ועמיד בפני שחיקה של נוזלים ותמיסות כימיות שונות, ומתאים למגוון תהליכי עיבוד כימי וטיפול פני השטח.
2. יציבות בטמפרטורה גבוהה:חרירי SiCיכול לשמור על יציבות מבנית בסביבות טמפרטורות גבוהות ומתאימים ליישומים הדורשים טיפול בטמפרטורה גבוהה.
3. ריסוס אחיד:זרבובית SiCלעיצוב יש ביצועי בקרת ריסוס טובים, שיכולים להשיג פיזור נוזל אחיד ולהבטיח שנוזל הטיפול מכוסה באופן שווה על משטח המטרה.
4. עמידות בפני שחיקה גבוהה: לחומר SiC קשיות ועמידות בפני שחיקה גבוהה ויכול לעמוד בשימוש וחיכוך לטווח ארוך.
ראשי מקלחת SiC נמצאים בשימוש נרחב בתהליכי טיפול בנוזל בייצור מוליכים למחצה, עיבוד כימי, ציפוי פני השטח, ציפוי אלקטרוניקה ותחומים תעשייתיים אחרים. זה יכול לספק השפעות ריסוס יציבות, אחידות ואמינות כדי להבטיח את האיכות והעקביות של העיבוד והטיפול.
תכונות עיקריות
1. עמידות חמצון בטמפרטורה גבוהה:
עמידות החמצון עדיין טובה מאוד כאשר הטמפרטורה גבוהה עד 1600 C.
2. טוהר גבוה: נעשה על ידי שקיעת אדים כימית בתנאי הכלרה בטמפרטורה גבוהה.
3. עמידות בשחיקה: קשיות גבוהה, משטח קומפקטי, חלקיקים עדינים.
4. עמידות בפני קורוזיה: חומצה, אלקלי, מלח וריאגנטים אורגניים.
מפרט עיקרי של ציפוי CVD-SIC
| מאפייני SiC-CVD | ||
| מבנה קריסטל | שלב β של FCC | |
| צְפִיפוּת | g/cm ³ | 3.21 |
| קַשִׁיוּת | קשיות ויקרס | 2500 |
| גודל גרגר | מיקרומטר | 2~10 |
| טוהר כימי | % | 99.99995 |
| קיבולת חום | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| טמפרטורת סובלימציה | ℃ | 2700 |
| חוזק פלקסואלי | MPa (RT 4 נקודות) | 415 |
| המודולוס של יאנג | GPA (עיקול 4 נקודות, 1300℃) | 430 |
| התרחבות תרמית (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| מוליכות תרמית | (W/mK) | 300 |
