מציגים את לוח הסירה האופקית של סיליקון קרביד המתקדם שלנו, שתוכננה בקפידה עבור יישומי עיבוד פרוסות של תעשיית המוליכים למחצה. צלחת הסירה האופקית שלנו, המעוצבת מסיליקון קרביד המשובח ביותר, בולטת בתכונות התרמיות המעולות שלה, העמידות הכימית והחוזק המכני שלה. אידיאלי עבור תהליכים בטמפרטורה גבוהה, לוח הסירה הזה מתוכנן לספק ביצועים יוצאי דופן, להבטיח דיוק ויעילות בכל שימוש.
עמידות יוצאת דופן:עשוי מסיליקון קרביד בטוהר גבוה, שלנו צלחת סירהמתוכנן לעמוד בטמפרטורות קיצוניות עד1600°C, המציע עמידות ותוחלת חיים ללא תחרות.
פיזור חום אחיד:המוליכות התרמית של סיליקון קרביד מבטיחה פיזור חום אחיד על פני הצלחת, קריטית לשמירה על עקביות התהליך והשגת ייצור פרוסות באיכות גבוהה.
עמידות כימית:לוח הסירה שלנו עמיד בפני כימיקלים קורוזיביים וסביבות קשות, שומר על שלמות וביצועים, אפילו ביישומי עיבוד מוליכים למחצה התובעניים ביותר.
חוזק מכני גבוה:הבנייה החזקה שלנוצלחת סירהמבטיח חוזק מכני מעולה ועמידות בפני שחיקה, מפחית את הסיכון לנזק ואת הצורך בהחלפות תכופות.
יישומים:
שֶׁלָנוּצלחת סירה אופקית סיליקון קרבידמושלם עבור מגוון רחב של תהליכים בטמפרטורה גבוהה בייצור מוליכים למחצה, כולל אך לא רק דיפוזיה, חמצון, השתלת יונים ותהליכי CVD.העיצוב והחומרים שלו מבטיחים שהוא יכול לתמוך בדרישות המדויקות של עיבוד פרוסות, מה שהופך אותו למרכיב חיוני עבור קווי ייצור מוליכים למחצה.