תֵאוּר
קולטי הגרפיט מצופים SiC של Semicera מתוכננים באמצעות מצעי גרפיט איכותיים, המצופים בקפידה בסיליקון קרביד (SiC) באמצעות תהליכים מתקדמים של כימיקלים (CVD). עיצוב חדשני זה מבטיח עמידות יוצאת דופן בפני זעזועים תרמיים ופירוק כימי, מאריך באופן משמעותי את תוחלת החיים של קולט הגרפיט המצופה SiC ומבטיח ביצועים אמינים לאורך תהליך הייצור של מוליכים למחצה.
תכונות עיקריות:
1. מוליכות תרמית מעולהקולט הגרפיט מצופה SiC מציג מוליכות תרמית יוצאת דופן, שהיא חיונית לפיזור חום יעיל במהלך ייצור מוליכים למחצה. תכונה זו ממזערת שיפועים תרמיים על משטח הפרוסים, ומעודדת פיזור טמפרטורה אחיד החיוני להשגת תכונות המוליכים למחצה הרצויים.
2. עמידות בפני זעזועים כימיים ותרמייםציפוי ה-SiC מספק הגנה אדירה מפני קורוזיה כימית והלם תרמי, שומר על שלמותו של קולט הגרפיט גם בסביבות עיבוד קשות. עמידות משופרת זו מפחיתה את זמן ההשבתה ומאריכה את תוחלת החיים, ותורמת להגברת הפרודוקטיביות וליעילות העלות במתקני ייצור מוליכים למחצה.
3. התאמה אישית לצרכים ספציפייםניתן להתאים את קולטי הגרפיט המצופים SiC שלנו כדי לעמוד בדרישות והעדפות ספציפיות. אנו מציעים מגוון אפשרויות התאמה אישית, לרבות התאמות גודל וריאציות בעובי הציפוי, כדי להבטיח גמישות עיצובית וביצועים מיטביים עבור יישומים ופרמטרים שונים של תהליך.
יישומים:
יישומים ציפויים של Semicera SiC נמצאים בשימוש בשלבים שונים של ייצור מוליכים למחצה, כולל:
1. ייצור שבב LED
2. -ייצור פוליסיליקון
3. -צמיחת קריסטל מוליכים למחצה
4. -סיליקון ו- SiC Epitaxy
5. -חמצון תרמי ודיפוזיה (TO&D)
מפרט טכני:
