Semiceraציפוי קרמי סיליקון קרבידהוא ציפוי מגן בעל ביצועים גבוהים העשוי מחומר סיליקון קרביד (SiC) קשיח במיוחד ועמיד בפני שחיקה. הציפוי מופקד בדרך כלל על פני המצע על ידי תהליך CVD או PVD עםחלקיקי סיליקון קרביד, מספק עמידות בפני קורוזיה כימית מעולה ויציבות בטמפרטורה גבוהה. לכן, ציפוי קרמי סיליקון קרביד נמצא בשימוש נרחב ברכיבים מרכזיים של ציוד לייצור מוליכים למחצה.
בייצור מוליכים למחצה,ציפוי SiCיכול לעמוד בטמפרטורות גבוהות במיוחד של עד 1600 מעלות צלזיוס, ולכן ציפוי קרמי סיליקון קרביד משמש לעתים קרובות כשכבת הגנה לציוד או לכלים כדי למנוע נזק בטמפרטורה גבוהה או בסביבות קורוזיביות.
במקביל,ציפוי קרמי סיליקון קרבידיכול לעמוד בפני שחיקה של חומצות, אלקליות, תחמוצות וריאגנטים כימיים אחרים, ויש לו עמידות בפני קורוזיה גבוהה למגוון חומרים כימיים. לכן, מוצר זה מתאים לסביבות קורוזיביות שונות בתעשיית המוליכים למחצה.
יתרה מכך, בהשוואה לחומרים קרמיים אחרים, ל-SiC מוליכות תרמית גבוהה יותר והוא יכול להוליך חום ביעילות. תכונה זו קובעת כי בתהליכי מוליכים למחצה הדורשים בקרת טמפרטורה מדויקת, המוליכות התרמית הגבוהה שלציפוי קרמי סיליקון קרבידעוזר לפיזור שווה של חום, למנוע התחממות יתר מקומית ולהבטיח שהמכשיר פועל בטמפרטורה האופטימלית.
| תכונות פיזיקליות בסיסיות של ציפוי CVD sic | |
| נֶכֶס | ערך אופייני |
| מבנה קריסטל | FCC β שלב פולי-גבישי, מכוון בעיקר (111). |
| צְפִיפוּת | 3.21 גרם/ס"מ³ |
| קַשִׁיוּת | 2500 קשיות ויקרס (עומס 500 גרם) |
| גודל תבואה | 2~10 מיקרומטר |
| טוהר כימי | 99.99995% |
| קיבולת חום | 640 ג'ק"ג-1·ק-1 |
| טמפרטורת סובלימציה | 2700℃ |
| חוזק כפיפה | 415 MPa RT 4 נקודות |
| המודולוס של יאנג | עיקול 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
| מוליכות תרמית | 300W·m-1·ק-1 |
| התרחבות תרמית (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
