הסמיקרהמשוט ופל של SiC Cantileverנועד לענות על הדרישות של ייצור מוליכים למחצה מודרניים. זֶהמשוט רקיקמציע חוזק מכני מעולה ועמידות תרמית, שהוא קריטי לטיפול בפרוסים בסביבות בטמפרטורה גבוהה.
עיצוב ה-SiC שלוחה מאפשר מיקום פרוסות מדויק, ומפחית את הסיכון לנזק במהלך הטיפול. המוליכות התרמית הגבוהה שלו מבטיחה שהוואפר יישאר יציב גם בתנאים קיצוניים, וזה קריטי לשמירה על יעילות הייצור.
בנוסף ליתרונות המבניים שלה, של Semiceraמשוט ופל של SiC Cantileverמציע גם יתרונות במשקל ועמידות. הקונסטרוקציה הקלה מקלה על הטיפול והשילוב במערכות קיימות, בעוד שחומר ה-SiC בצפיפות גבוהה מבטיח עמידות לאורך זמן בתנאים תובעניים.
| תכונות פיזיקליות של סיליקון קרביד מחדש | |
| נֶכֶס | ערך אופייני |
| טמפרטורת עבודה (°C) | 1600 מעלות צלזיוס (עם חמצן), 1700 מעלות צלזיוס (סביבה מפחיתה) |
| תוכן SiC | > 99.96% |
| תוכן Si בחינם | < 0.1% |
| צפיפות בתפזורת | 2.60-2.70 גרם/ס"מ3 |
| נקבוביות לכאורה | < 16% |
| חוזק דחיסה | > 600 MPa |
| חוזק כיפוף קר | 80-90 MPa (20°C) |
| חוזק כיפוף חם | 90-100 MPa (1400°C) |
| התפשטות תרמית @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| מוליכות תרמית @1200°C | 23 W/m•K |
| מודול אלסטי | 240 GPa |
| עמידות בפני זעזועים תרמיים | טוב במיוחד |
