משוט Cantilever של SiCנמצא בשימוש בתנור ציפוי דיפוזיה של התעשייה הפוטו-וולטאית לציפוי פרוסות סיליקון חד-גבישיות ופולי-גבישיות. המאפיין שלו מאפשר לו לעמוד בטמפרטורה גבוהה ובקורוזיה, ומעניק לו תוחלת חיים ארוכה.
המשוט Cantilever של SiCמספקת סירות SiC / סירות קוורץ הנושאות פרוסות סיליקון לתוך צינור התנור לציפוי בטמפרטורה גבוהה.
האורך שלנומשוט Cantilever של SiCנע בין 1,500 ל-3,500 מ"מ.משוט של SiC Cantileverמימד יכול להיות מותאם לפי מפרט הלקוח.
תכונות פיזיקליות של סיליקון קרביד מחדש | |
נֶכֶס | ערך אופייני |
טמפרטורת עבודה (°C) | 1600 מעלות צלזיוס (עם חמצן), 1700 מעלות צלזיוס (סביבה מפחיתה) |
תוכן SiC | > 99.96% |
תוכן Si בחינם | < 0.1% |
צפיפות בתפזורת | 2.60-2.70 גרם/ס"מ3 |
נקבוביות לכאורה | < 16% |
חוזק דחיסה | > 600 MPa |
חוזק כיפוף קר | 80-90 MPa (20°C) |
חוזק כיפוף חם | 90-100 MPa (1400°C) |
התפשטות תרמית @1500°C | 4.70 10-6/°C |
מוליכות תרמית @1200°C | 23 W/m•K |
מודול אלסטי | 240 GPa |
עמידות בפני זעזועים תרמיים | טוב במיוחד |