הטבעת Solid SiC Focus מבית Semicera היא רכיב חדשני שנועד לענות על הדרישות של ייצור מוליכים למחצה מתקדמים. עשוי מטוהר גבוהסיליקון קרביד (SiC), טבעת מיקוד זו אידיאלית עבור מגוון רחב של יישומים בתעשיית המוליכים למחצה, במיוחד בתהליכי CVD SiC, תחריט פלזמה, וICPRIE (תחריט יון תגובתי בפלזמה בשילוב אינדוקטיבי). ידוע בעמידות הבלאי יוצאת הדופן שלו, היציבות התרמית הגבוהה והטוהר שלו, הוא מבטיח ביצועים ארוכי טווח בסביבות מתח גבוהות.
במוליך למחצהרָקִיקעיבוד, Solid SiC Focus Rings חיוניות בשמירה על תחריט מדויק במהלך יישומי תחריט יבש וחריטת רקיק. טבעת המיקוד SiC מסייעת במיקוד הפלזמה במהלך תהליכים כגון פעולות מכונת תחריט פלזמה, מה שהופך אותה הכרחית לחריטה של פרוסות סיליקון. חומר ה-SiC המוצק מציע עמידות בפני שחיקה שאין שני לה, מבטיח את אורך החיים של הציוד שלך ומצמצם את זמן ההשבתה, אשר חיוני לשמירה על תפוקה גבוהה בייצור מוליכים למחצה.
טבעת ה-SiC Focus Solid מבית Semicera מתוכננת לעמוד בטמפרטורות קיצוניות וכימיקלים אגרסיביים הנפוצים בתעשיית המוליכים למחצה. הוא נוצר במיוחד לשימוש במשימות דיוק גבוה כגוןציפויי CVD SiC, שבו טוהר ועמידות הם מעל הכל. עם עמידות מעולה בפני זעזועים תרמיים, מוצר זה מבטיח ביצועים עקביים ויציבים בתנאים הקשים ביותר, כולל חשיפה לטמפרטורות גבוהות במהלךרָקִיקתהליכי תחריט.
ביישומי מוליכים למחצה, שבהם דיוק ואמינות הם המפתח, טבעת ה-SiC Focus Solid ממלאת תפקיד מרכזי בשיפור היעילות הכוללת של תהליכי תחריט. העיצוב החזק, בעל הביצועים הגבוהים שלו, הופך אותו לבחירה המושלמת עבור תעשיות הדורשות רכיבים בעלי טוהר גבוה המתפקדים בתנאים קיצוניים. בין אם נעשה בו שימוש בטבעת SiC CVDיישומים או כחלק מתהליך תחריט הפלזמה, טבעת המיקוד הסולידית SiC של Semicera מסייעת לייעל את ביצועי הציוד שלך, ומציעה את אורך החיים והאמינות שתהליכי הייצור שלך דורשים.
תכונות עיקריות:
• עמידות בלאי מעולה ויציבות תרמית גבוהה
• חומר SiC מוצק בטוהר גבוה לתוחלת חיים ממושכת
• אידיאלי ליישומי תחריט פלזמה, ICP RIE ויישומי תחריט יבש
• מושלם עבור תחריט רקיק, במיוחד בתהליכי CVD SiC
• ביצועים אמינים בסביבות קיצוניות ובטמפרטורות גבוהות
• מבטיח דיוק ויעילות בתחריט של פרוסות סיליקון
יישומים:
• תהליכי CVD SiC בייצור מוליכים למחצה
• מערכות תחריט פלזמה ו-ICP RIE
• תהליכי תחריט יבש וחריטת רקיק
• תחריט והשקעת מכונות תחריט פלזמה
• רכיבי דיוק לטבעות רקיק וטבעות CVD SiC
מורפולוגיה מיקרוסקופית של משטח SiC CVD
מורפולוגיה מיקרוסקופית של חתך SiC CVD
