Si Epitaxy

תיאור קצר:

Si Epitaxy- השג ביצועי מכשיר מעולים עם Si Epitaxy של Semicera, המציעה שכבות סיליקון שגדלו בדיוק עבור יישומי מוליכים למחצה מתקדמים.


פירוט המוצר

תגיות מוצר

Semiceraמציג את האיכות הגבוהה שלוSi Epitaxyשירותים, שנועדו לעמוד בסטנדרטים המדויקים של תעשיית המוליכים למחצה של ימינו. שכבות סיליקון אפיטקסיאליות הן קריטיות עבור הביצועים והאמינות של מכשירים אלקטרוניים, ופתרונות Si Epitaxy שלנו מבטיחים שהרכיבים שלך משיגים פונקציונליות אופטימלית.

שכבות סיליקון בגידול מדויק Semiceraמבינה שהבסיס של מכשירים בעלי ביצועים גבוהים טמון באיכות החומרים המשמשים. שֶׁלָנוּSi Epitaxyהתהליך נשלט בקפידה כדי לייצר שכבות סיליקון עם אחידות יוצאת דופן ושלמות גבישית. שכבות אלו חיוניות ליישומים החל ממיקרואלקטרוניקה ועד התקני הספק מתקדמים, שבהם העקביות והאמינות הם בעלי חשיבות עליונה.

מותאם לביצועי המכשירהSi Epitaxyהשירותים המוצעים על ידי Semicera מותאמים לשיפור התכונות החשמליות של המכשירים שלך. על ידי גידול שכבות סיליקון בטוהר גבוה עם צפיפות פגמים נמוכה, אנו מבטיחים שהרכיבים שלך יתפקדו במיטבם, עם ניידות מנשא משופרת והתנגדות חשמלית ממוזערת. אופטימיזציה זו היא קריטית להשגת מאפייני המהירות הגבוהה והיעילות הגבוהה הנדרשת על ידי הטכנולוגיה המודרנית.

רבגוניות ביישומים SemiceraשלSi Epitaxyמתאים למגוון רחב של יישומים, כולל ייצור של טרנזיסטורי CMOS, MOSFETs כוח וטרנזיסטורי צומת דו-קוטביים. התהליך הגמיש שלנו מאפשר התאמה אישית על סמך הדרישות הספציפיות של הפרויקט שלך, בין אם אתה צריך שכבות דקות עבור יישומים בתדר גבוה או שכבות עבות יותר עבור התקני חשמל.

איכות חומר מעולהאיכות היא הלב של כל מה שאנחנו עושים ב-Semicera. שֶׁלָנוּSi Epitaxyתהליך משתמש בציוד ובטכניקות חדישות על מנת להבטיח שכל שכבת סיליקון עומדת בסטנדרטים הגבוהים ביותר של טוהר ושלמות מבנית. תשומת לב זו לפרטים ממזערת את התרחשותם של פגמים שעלולים להשפיע על ביצועי המכשיר, וכתוצאה מכך רכיבים אמינים יותר ועמידים יותר.

מחויבות לחדשנות Semiceraמחויבת להישאר בחזית טכנולוגיית המוליכים למחצה. שֶׁלָנוּSi Epitaxyהשירותים משקפים מחויבות זו, תוך שילוב ההתקדמות העדכנית ביותר בטכניקות צמיחה אפיטקסיאלית. אנו משכללים את התהליכים שלנו ללא הרף כדי לספק שכבות סיליקון העונות על הצרכים המתפתחים של התעשייה, ומבטיחים שהמוצרים שלך יישארו תחרותיים בשוק.

פתרונות מותאמים לצרכים שלךמתוך הבנה שכל פרויקט הוא ייחודי,Semiceraהצעות מותאמות אישיתSi Epitaxyפתרונות שיתאימו לצרכים הספציפיים שלך. בין אם אתה זקוק לפרופילי סימום מסוימים, עובי שכבות או גימורי משטח, הצוות שלנו עובד איתך בצמוד כדי לספק מוצר העונה על המפרט המדויק שלך.

פריטים

הֲפָקָה

מֶחקָר

דֶמֶה

פרמטרים של קריסטל

פוליטייפ

4H

שגיאת כיוון פני השטח

<11-20 >4±0.15°

פרמטרים חשמליים

דופנט

חנקן מסוג n

הִתנַגְדוּת סְגוּלִית

0.015-0.025 אוהם·ס"מ

פרמטרים מכניים

קוֹטֶר

150.0±0.2 מ"מ

עוֹבִי

350±25 מיקרומטר

כיוון שטוח ראשוני

[1-100]±5°

אורך שטוח ראשוני

47.5±1.5 מ"מ

דירה משנית

אַף לֹא אֶחָד

TTV

≤5 מיקרומטר

≤10 מיקרומטר

≤15 מיקרומטר

LTV

≤3 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ)

≤5 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ)

≤10 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ)

קֶשֶׁת

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

לְעַקֵם

≤35 מיקרומטר

≤45 מיקרומטר

≤55 מיקרומטר

חספוס קדמי (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

מִבְנֶה

צפיפות מיקרופייפ

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

זיהומי מתכת

≤5E10אטומים/סמ"ר

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

איכות חזית

חֲזִית

Si

גימור פני השטח

Si-Face CMP

חלקיקים

≤60ea/wafer (גודל≥0.3μm)

NA

שריטות

≤5ea/mm. אורך מצטבר ≤קוטר

אורך מצטבר≤2*קוטר

NA

קליפת תפוז / חרצנים / כתמים / פסים / סדקים / זיהום

אַף לֹא אֶחָד

NA

שבבי קצה/חריצים/שבר/צלחות משושה

אַף לֹא אֶחָד

אזורים פוליטיפיים

אַף לֹא אֶחָד

שטח מצטבר ≤20%

שטח מצטבר ≤30%

סימון לייזר קדמי

אַף לֹא אֶחָד

איכות גב

גימור אחורי

C-face CMP

שריטות

≤5ea/mm, אורך מצטבר≤2*קוטר

NA

פגמים בגב (שבבי קצה/חריצים)

אַף לֹא אֶחָד

חספוס גב

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

סימון לייזר אחורי

1 מ"מ (מהקצה העליון)

קָצֶה

קָצֶה

Chamfer

אריזה

אריזה

אפי מוכן עם אריזת ואקום

אריזת קסטות מרובות ופל

*הערות: "NA" פירושו ללא בקשה פריטים שאינם מוזכרים עשויים להתייחס ל-SEMI-STD.

tech_1_2_size
פרוסות SiC

  • קוֹדֵם:
  • הַבָּא: