מצופה SiCחלק חצי ירח גרפיטהוא מרכיב מפתח המשמש בתהליכי ייצור מוליכים למחצה, במיוחד עבור ציוד אפיטקסיאלי של SiC. אנו משתמשים בטכנולוגיה המוגנת בפטנט שלנו כדי להפוך את חלק החצי ירח עם טוהר גבוה במיוחד, אחידות ציפוי טובה וחיי שירות מצוינים, כמו גם עמידות כימית גבוהה ותכונות יציבות תרמית.
