ציפוי פחמן פירוליטיהוא שכבה דקה שלמצופה פחמן פירוליטיעל פני השטח של איזוסטטי מטוהר מאודגרפיט באמצעות טכנולוגיית שקיעת אדים כימית (CVD). יש לו צפיפות גבוהה, טוהר גבוה ואניזוטרופיתכונות תרמיות, חשמליות, מגנטיות ומכאניות.
מאפיינים עיקריים:
1. המשטח צפוף וללא נקבוביות.
2. טוהר גבוה, תכולת טומאה כוללת <20ppm,אטימות טובה.
3.עמידות בטמפרטורות גבוהות, החוזק עולה עם עליית טמפרטורת השימוש, ומגיע לרמה הגבוהה ביותרערך ב-2750 ℃, סובלימציה ב-3600 ℃.
4.מודול אלסטי נמוך, מוליכות תרמית גבוהה, מקדם התפשטות תרמית נמוך,ועמידות בפני זעזועים תרמיים מעולה.
5.יציבות כימית טובה, עמיד לחומצה, אלקלי, מלח, וריאגנטים אורגניים, וישאין השפעה על מתכות מותכות, סיגים וחומרי מאכל אחרים. זה לא מתחמצןבאופן משמעותי באטמוספירה מתחת ל-400 ℃, וקצב החמצון באופן משמעותיעולה ב-800 ℃.
6. מבלי לשחרר שום גז בטמפרטורות גבוהות, הוא יכול לשמור על ואקום של10-7 מ"מ כספית בסביבות 1800 ℃.
יישום מוצר:
1. כור היתוך לאידוי פנימהתעשיית המוליכים למחצה.
2. שער צינור אלקטרוני בעוצמה גבוהה.
3. מברשת הנוגעת לווסת המתח.
4. מונוכרומטור גרפיט לקרני רנטגן וניוטרונים.
5. צורות שונות של מצעי גרפיט וציפוי צינור ספיגה אטומית.
אפקט ציפוי פחמן פירוליטי תחת מיקרוסקופ 500X, עם משטח שלם ואטום.
