קרביד טנטלום נקבובי, חומר שדה חם לצמיחת גבישי SiC

תיאור קצר:

טנטלום קרביד נקבובי משמש בעיקר לסינון רכיבי גז, התאמת שיפוע טמפרטורה מקומי, הנחיית כיוון זרימת החומר, בקרת דליפה וכו'. ניתן להשתמש בו עם ציפוי טנטלום קרביד מוצק אחר (קומפקטי) או טנטלום קרביד מבית Semicera Technology ליצירת רכיבים מקומיים עם מוליכות זרימה שונה.

 


פירוט המוצר

תגיות מוצר

Semicera מספקת ציפויים מיוחדים של טנטלום קרביד (TaC) עבור רכיבים ומנשאים שונים.תהליך הציפוי המוביל של Semicera מאפשר לציפויי טנטלום קרביד (TaC) להשיג טוהר גבוה, יציבות טמפרטורה גבוהה וסובלנות כימית גבוהה, שיפור איכות המוצר של גבישי SIC/GAN ושכבות EPI (קולט TaC מצופה גרפיט), והארכת החיים של רכיבי כור מרכזיים. השימוש בציפוי טנטלום קרביד TaC נועד לפתור את בעיית הקצה ולשפר את איכות צמיחת הגבישים, ו-Semicera פיתחה פריצת דרך בטכנולוגיית ציפוי טנטלום קרביד (CVD), והגיעה לרמה המתקדמת הבינלאומית.

 

לאחר שנים של פיתוח, Semicera כבשה את הטכנולוגיה שלCVD TaCבמאמצים משותפים של מחלקת המו"פ. קל להתרחש פגמים בתהליך הצמיחה של פרוסות SiC, אך לאחר השימושTaC, ההבדל הוא משמעותי. להלן השוואה של פרוסות עם ובלי TaC, כמו גם חלקים של Semicera לצמיחת גביש בודד

微信图片_20240227150045

עם ובלי TaC

微信图片_20240227150053

לאחר שימוש ב-Tac (מימין)

בנוסף, חיי השירות של מוצרי ציפוי TaC של Semicera ארוכים ועמידים יותר לטמפרטורה גבוהה מזה של ציפוי SiC. לאחר זמן רב של נתוני מדידה במעבדה, ה-TAC שלנו יכול לעבוד לאורך זמן בטמפרטורה מקסימלית של 2300 מעלות צלזיוס. להלן כמה מהדוגמאות שלנו:

微信截图_20240227145010

(א) דיאגרמה סכמטית של מכשיר לגידול מטיל גביש יחיד של SiC בשיטת PVT (ב) תושבת זרעים מצופה TaC עליונה (כולל זרעי SiC) (ג) טבעת מנחה גרפיט מצופה TAC

ZDFVzCFV
תכונה עיקרית
מקום עבודה של Semicera
מקום עבודה של Semicera 2
מכונת ציוד
עיבוד CNN, ניקוי כימי, ציפוי CVD
השירות שלנו

  • קוֹדֵם:
  • הַבָּא: