הקדמה של מנשא פרוסות
קטגוריית מוצרים
▶מערכת מנשא ופל עבור PECVD & TALOX Process
• סירת גרפיט PECVD ו-TALOX (M4~M12)
• SM-Boat אנכי (M4, M6)
• חלק גרפיט לשתל ומקלחת (M4~M6)
• מגש C/C וציפוי קרמי
• מתכת RIE-Tray & ציפוי קרמי
• איטום ואקום: O-Ring & SQ-Ring
▶תהליך העברת מרקם וחריטה רטובה
• LSC H-Carrier או קלטת (M4~M12)
• LSC V-Carrier או קלטת (M4~M12)
• מנשא ASC או קלטת (M4, M6)
• W/F מנשא ותיבת אחסון (M4~M12)
• סדרת גלגלי תחבורה (רולר).
▶מנשא תאים סולאריים ומנשא מתכת
• מנשא TRC או קלטת (M4~M12)
• מגזין (עם BELT)
סירת גרפיט (סוג H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
סירת גרפיט (סוג H)
21P6-240CT WF M4~M12)
סירת גרפיט (סוג H)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
סירת גרפיט (סוג H)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
סירת גרפיט (סוג H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF Carrier & Storage Box (~M12)
C/C TRAY או CARRIER( M4~M10)
C/C TRAY או CARRIER( M4~M10)
סירה אנכית (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER(~M12)
TRC CARRIER(~M12)
GRAPHITE-BOAT(M12)
מערכת נשא פרוס לתהליך PECVD
▶ GRAPHITE BOAT (מעוצב CT) תהליך M10/M12
• קונספט עיצובי מיוחד
▶ GRAPHITE BOAT (מעוצב CT) תהליך M4/M6
▶ חלקי עזר לסירה
▶ סירה אנכית-161.7 מ"מ WAFER
▶ סירה אנכית-166 מ"מ WAFER
▶ סירה אנכית-161.7 מ"מ, WAFER 166 מ"מ
מנשא תאים סולאריים ומנשא TRC מתכת
סוג: אוטומציה
גודל פרוס: ① 156×156 מ"מ ② 156.75×156.75 מ"מ
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180 מ"מ ⑥ 210×210 מ"מ
שימוש: נשיאה (קסטה)
קיבולת: 100 גיליונות
גובה: 4.76 מ"מ/5.953 מ"מ/6.35 מ"מ
מימד: כ-559×220×220 מ"מ
כ-712×260×260 מ"מ
יתרון: אווירה
חומר: להבה, מוט צד-אלומיניום (אילגון)
SIDE PLATE-POM (אנטיסטטי)
כיסוי של מוט תחתון-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (קו משתמש)
TRC-METAL CARRIER (קו משתמש)
TRC-METAL CARRIER (קו משתמש)
צלחת ושתל, מנשא
