-
תהליך ייצור מוליכים למחצה - טכנולוגיית Etch
נדרשים מאות תהליכים כדי להפוך פרוס למוליכים למחצה. אחד התהליכים החשובים ביותר הוא תחריט - כלומר, גילוף דפוסי מעגלים עדינים על הפרוסה. הצלחת תהליך התחריט תלויה בניהול משתנים שונים בטווח תפוצה מוגדר, וכל תחריט...קרא עוד -
חומר אידיאלי עבור טבעות פוקוס בציוד תחריט פלזמה: סיליקון קרביד (SiC)
בציוד תחריט פלזמה, רכיבים קרמיים ממלאים תפקיד מכריע, כולל טבעת המיקוד. טבעת המיקוד, המונחת מסביב לפרוסה ובמגע ישיר איתה, חיונית למיקוד הפלזמה על הפרוסה על ידי הפעלת מתח על הטבעת. זה משפר את ה...קרא עוד -
השפעת עיבוד גביש יחיד סיליקון קרביד על איכות משטח פרוס
התקני כוח מוליכים למחצה תופסים עמדת ליבה במערכות אלקטרוניות כוח, במיוחד בהקשר של התפתחות מהירה של טכנולוגיות כגון בינה מלאכותית, תקשורת 5G ורכבי אנרגיה חדשים, דרישות הביצועים עבורם היו ...קרא עוד -
חומר ליבה מרכזי לצמיחת SiC: ציפוי טנטלום קרביד
כיום, הדור השלישי של מוליכים למחצה נשלט על ידי סיליקון קרביד. במבנה העלויות של מכשיריה, המצע מהווה 47%, והאפיטקסיה מהווה 23%. השניים ביחד מהווים כ-70%, שהוא החלק החשוב ביותר בייצור מכשירי הסיליקון קרביד...קרא עוד -
כיצד מוצרים מצופים טנטלום קרביד משפרים את עמידות החומרים בפני קורוזיה?
ציפוי טנטלום קרביד הוא טכנולוגיה נפוצה לטיפול פני השטח שיכולה לשפר משמעותית את עמידות החומרים בפני קורוזיה. ניתן להצמיד ציפוי טנטלום קרביד למשטח המצע באמצעות שיטות הכנה שונות, כגון שקיעת אדים כימית, פיזיקה...קרא עוד -
אתמול, מועצת החדשנות במדע וטכנולוגיה פרסמה הודעה לפיה Huazhuo Precision Technology הפסיקה את ההנפקה שלה!
הודיעה זה עתה על אספקת ציוד חישול הלייזר SIC הראשון בגודל 8 אינץ' בסין, שהיא גם הטכנולוגיה של Tsinghua; מדוע הם משכו את החומרים בעצמם? רק כמה מילים: ראשית, המוצרים מגוונים מדי! במבט ראשון, אני לא יודע מה הם עושים. נכון לעכשיו, H...קרא עוד -
ציפוי סיליקון קרביד CVD-2
ציפוי סיליקון קרביד CVD 1. מדוע יש ציפוי סיליקון קרביד השכבה האפיטקסיאלית היא סרט דק ספציפי גבישי אחד שגדל על בסיס הפרוסה בתהליך האפיטקסיאלי. רקיקת המצע והסרט הדק האפיטקסיאלי נקראים ביחד פרוסות אפיטקסיאליות. ביניהם, ה...קרא עוד -
תהליך הכנה של ציפוי SIC
נכון להיום, שיטות ההכנה של ציפוי SiC כוללות בעיקר שיטת ג'ל-סול, שיטת הטבעה, שיטת ציפוי מברשת, שיטת ריסוס פלזמה, שיטת ריאקציית אדים כימית (CVR) ושיטת אדי כימיקלים (CVD). שיטת הטבעה שיטה זו היא סוג של שלב מוצק בטמפרטורה גבוהה ...קרא עוד -
ציפוי סיליקון קרביד CVD-1
מהו CVD SiC כימי בתצהיר אדים (CVD) הוא תהליך שיקוע ואקום המשמש לייצור חומרים מוצקים בטוהר גבוה. תהליך זה משמש לעתים קרובות בתחום ייצור המוליכים למחצה ליצירת סרטים דקים על פני השטח של פרוסות. בתהליך הכנת SiC על ידי CVD, המצע מתפרש...קרא עוד -
ניתוח של מבנה נקע בגביש SiC על ידי הדמיית מעקב אחר קרניים בסיוע הדמיה טופולוגית בקרני רנטגן
רקע מחקר חשיבות היישום של סיליקון קרביד (SiC): כחומר מוליך למחצה רחב פס, סיליקון קרביד משך תשומת לב רבה בשל תכונותיו החשמליות המצוינות (כגון מרווח פס גדול יותר, מהירות רווית אלקטרונים גבוהה יותר ומוליכות תרמית). האביזרים האלה...קרא עוד -
תהליך הכנת גבישי זרעים בגידול גביש יחיד של SiC 3
אימות צמיחה גבישי זרעי הסיליקון קרביד (SiC) הוכנו בעקבות התהליך המתואר ואומתו באמצעות צמיחת גבישי SiC. פלטפורמת הגידול שבה נעשה שימוש הייתה תנור גידול אינדוקציה SiC שפותח בעצמו עם טמפרטורת גידול של 2200℃, לחץ צמיחה של 200 Pa, וגידול...קרא עוד -
תהליך הכנת גביש זרעים בצמיחת גביש בודד של SiC (חלק 2)
2. תהליך ניסיוני 2.1 אשפרה של סרט דבק נצפה כי יצירת סרט פחמן או הדבקה ישירה עם נייר גרפיט על פרוסות SiC מצופים בדבק הובילה למספר בעיות: 1. בתנאי ואקום, הסרט הדבק על פרוסות SiC פיתח מראה דמוי אבנית עקב לחתום...קרא עוד