מדוע צריך לגלגל סיליקון גביש יחיד?

גלגול מתייחס לתהליך של טחינת הקוטר החיצוני של מוט גביש יחיד מסיליקון למוט גבישי בודד בקוטר הנדרש באמצעות גלגל שיוף יהלום, וטחינת משטח ייחוס קצה שטוח או חריץ מיקום של מוט הגביש היחיד.

משטח הקוטר החיצוני של מוט הגביש היחיד שהוכן על ידי תנור הגביש היחיד אינו חלק ושטוח, וקוטרו גדול מקוטר פרוסת הסיליקון המשמשת ביישום הסופי. ניתן לקבל את קוטר המוט הנדרש על ידי גלגול הקוטר החיצוני.

למפעל הגלגול יש את הפונקציה של טחינת משטח ההתייחסות בקצה השטוח או את חריץ המיקום של מוט הגביש החד סיליקון, כלומר לבצע בדיקות כיווניות על מוט הגביש היחיד בקוטר הדרוש. על אותו ציוד מכבש מתגלגל, משטח ההתייחסות בקצה השטוח או חריץ המיקום של מוט הגביש היחיד נטחן. בדרך כלל, מוטות גביש בודדים בקוטר של פחות מ-200 מ"מ משתמשים במשטחי ייחוס בקצה שטוח, ומוטות גביש בודדים בקוטר של 200 מ"מ ומעלה משתמשים בחריצי מיקום. מוטות קריסטל בודדים בקוטר של 200 מ"מ יכולים להתבצע גם עם משטחי ייחוס בקצה שטוח לפי הצורך. מטרת משטח ההתייחסות לכיוון מוט גביש יחיד היא לענות על הצרכים של פעולת מיקום אוטומטית של ציוד תהליך בייצור מעגלים משולבים; לציין את כיוון הגביש וסוג המוליכות של רקיקת הסיליקון וכו', כדי להקל על ניהול הייצור; קצה המיקום או חריץ המיקום הראשי מאונך לכיוון <110>. במהלך תהליך אריזת השבבים, תהליך החיתוך לקוביות עלול לגרום למחשוף טבעי של הפרוסה, והמיקום יכול גם למנוע יצירת שברים.

המטרות העיקריות של תהליך העיגול כוללות: שיפור איכות פני השטח: עיגול יכול להסיר כתמים וחוסר אחידות על פני השטח של פרוסות סיליקון ולשפר את חלקות פני השטח של פרוסות סיליקון, דבר שחשוב מאוד לתהליכי פוטוליטוגרפיה ותחריט הבאים. הפחתת מתח: לחץ עלול להיווצר במהלך חיתוך ועיבוד של פרוסות סיליקון. עיגול יכול לעזור לשחרר את הלחצים הללו ולמנוע את שבירה של פרוסות הסיליקון בתהליכים הבאים. שיפור החוזק המכני של פרוסות הסיליקון: במהלך תהליך העיגול, הקצוות של פרוסות הסיליקון יהפכו חלקים יותר, מה שעוזר לשפר את החוזק המכני של פרוסות הסיליקון ולהפחית נזקים במהלך ההובלה והשימוש. הבטחת דיוק ממדי: על ידי עיגול, ניתן להבטיח את דיוק הממדים של פרוסות סיליקון, שהוא חיוני לייצור התקני מוליכים למחצה. שיפור התכונות החשמליות של פרוסות סיליקון: לעיבוד הקצה של פרוסות סיליקון יש השפעה חשובה על התכונות החשמליות שלהן. עיגול יכול לשפר את התכונות החשמליות של פרוסות סיליקון, כגון הפחתת זרם הדליפה. אסתטיקה: הקצוות של פרוסות סיליקון חלקות ויפות יותר לאחר עיגול, מה שנחוץ גם עבור תרחישי יישום מסוימים.