הMOCVDהשיטה היא אחד התהליכים היציבים ביותר המשמשים כיום בתעשייה לגידול סרטים דקים חד גבישיים באיכות גבוהה, כגון שכבות InGaN חד-שלביות, חומרים III-N וסרטי מוליכים למחצה עם מבני באר קוונטיים רבים, והיא בעלת משמעות רבה בתחום ייצור של מכשירים מוליכים למחצה ואופטואלקטרוניים.
הציפוי SiC קולט MOCVDהוא מחזיק פרוסות מיוחד מצופה סיליקון קרביד (SiC) עבוראפיטקסיאלי צמיחה בתהליך שקיעת אדים כימית אורגנית מתכת (MOCVD).
לציפוי ה-SiC עמידות כימית מעולה ויציבות תרמית, מה שהופך אותו לבחירה אידיאלית עבור קולטי MOCVD המשמשים בתהליכי גדילה אפיטקסיאליים תובעניים.
מרכיב מרכזי בתהליך ה-MOCVD הוא ה-susceptor, המהווה מרכיב מרכזי להבטחת האחידות והאיכות של הסרטים הדקים המיוצרים.
מה זה קולט? הקשיש הוא רכיב מיוחד המשמש בתהליך MOCVD כדי לתמוך ולחמם את המצע עליו מופקד הסרט הדק. יש לו פונקציות מרובות, כולל קליטת אנרגיה אלקטרומגנטית, הפיכתה לחום ופיזור שווה של החום על המצע. חימום אחיד זה חיוני לצמיחת סרטים דקים אחידים בעלי עובי והרכב מדויקים.
סוגי קולטים:
1. קולטי גרפיט: קולטי גרפיט מצופים לרוב בשכבת הגנה כגוןסיליקון קרביד (SiC), הידוע במוליכות התרמית הגבוהה וביציבותו. הציפוי SiCמספק משטח קשיח ומגן העמיד בפני קורוזיה ופירוק בטמפרטורות גבוהות.
2. קולטים של סיליקון קרביד (SiC): קולטים אלו עשויים כולו מ-SiC ובעלי יציבות תרמית מצוינת ועמידות בפני שחיקה. קולטי SiC מתאימים במיוחד לתהליכים בטמפרטורה גבוהה וסביבות קורוזיביות.
כיצד פועלים הקולטים ב-MOCVD:
בתהליך MOCVD, מבשרים מוכנסים לתא התגובה שם הם מתפרקים ומגיבים ליצירת סרט דק על המצע. הקשיש ממלא תפקיד חיוני בכך שהוא מבטיח שהמצע מחומם באופן שווה, דבר שהוא קריטי להשגת תכונות סרט עקביות על פני כל משטח המצע. החומר והעיצוב של הסוליד נבחרים בקפידה כדי לעמוד בדרישות הספציפיות של תהליך ההשקעה, כגון טווח טמפרטורות ותאימות כימית.
יתרונות השימוש בקושרים איכותיים:
• איכות סרט משופרת: על ידי מתן פיזור חום אחיד, ה-Susceptor מסייע בהשגת סרטים בעלי עובי והרכב עקביים, דבר שהוא קריטי לביצועים של התקני מוליכים למחצה.
• יעילות תהליך משופרת: סופגים באיכות גבוהה מגבירים את היעילות הכוללת של תהליך MOCVD על ידי הפחתת הסבירות לפגמים והגדלת התפוקה של סרטים שמיש.
• תוחלת חיים ואמינות: קולטים העשויים מחומרים עמידים כמו SiC מבטיחים אמינות ארוכת טווח ומפחיתים את עלויות התחזוקה.
הסוסספטור הוא מרכיב אינטגרלי בתהליך ה-MOCVD ומשפיע ישירות על האיכות והיעילות של שקיעת סרט דק. למידע נוסף על גדלים זמינים, קולטי MOCVD ומחירים, אנא אל תהסס לפנות אלינו. המהנדסים שלנו ישמחו לייעץ לכם לגבי חומרים מתאימים ולענות על כל השאלות שלכם.
טלפון: +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
זמן פרסום: 12 באוגוסט 2024