בתחום המתקדם במהירות של ייצור מוליכים למחצה, דיוק ועמידות הציוד הם חשיבות עליונה להשגת תפוקות ואיכות גבוהות. אחד המרכיבים המרכזיים המבטיחים זאת הוא גלגל הציפוי SiC, שנועד לשפר את היעילות של תהליכים כמוSi EpitaxyוSiC Epitaxy. ב-Semicera, אנו מתמחים בפיתוח גלגלי גלגלי ציפוי SiC מתקדמים העונים על הצרכים התובעניים של ייצור מוליכים למחצה מודרניים, המציעים עמידות בפני שחיקה ויציבות תרמית מעולה.
גלגלי ציפוי SiC ממלאים תפקיד מכריע בציוד המשמש לצמיחה אפיטקסיאלית, שם הם מבטיחים תנועה חלקה ושליטה מדויקת על המצעים. ההילוכים האלה, עם שלהםציפוי סיליקון קרביד, מספקים עמידות משופרת ועמידות בפני קורוזיה, מה שהופך אותם לאידיאליים עבור סביבות הכוללות טמפרטורות גבוהות וכימיקלים אגרסיביים. זה קריטי במיוחד בתהליכי ניצולקולטי MOCVD, שבו השקעת חומרים דורשת תמיכה יציבה ואמינה.
בנוסף לתפקידם בSi EpitaxyוSiC Epitaxy, גלגלי הציפוי SiC של Semicera חיוניים גם ליישומי מוליכים למחצה אחרים. לדוגמה, הם משולבים במערכות עםמנשאי תחריט PSS, חיוני לייצור פרוסות לד אחידות ואיכותיות. הדיוק והחוזק הגבוהים שלהם גם הופכים אותם למתאימים היטבמנשאי תחריט ICP, כאשר הצורך בסובלנות קפדנית הוא מכריע בתהליכי צריבת יונים. יתר על כן, היכולת שלהם לעמוד במעברים תרמיים מהירים הופכת אותם ליעילים ביותר ב-RTP Carriers המשמשים בחישול מוליכים למחצה.
יישום חשוב נוסף של גלגלי הילוכים של ציפוי SiC הוא בייצור של קולטי LED Epitaxial, כאשר העמידות שלהם ועמידות החום מסייעים בשמירה על שלמות הקולט במהלך פעולות בטמפרטורה גבוהה. זה מוביל לתפוקה ואמינות גבוהים יותר בייצור פרוסות LED.
על ידי שילוב גלגלי ציפוי SiC המתקדמים של Semicera, היצרנים יכולים להשיג ביצועים משופרים, זמן השבתה מופחת ויעילות משופרת בתהליכי ייצור המוליכים למחצה שלהם. בין אם ב-Si Epitaxy, SiC Epitaxy, או בטיפול בקולטי MOCVD, גלגלי שיניים אלו מספקים את החוסן והדיוק הנדרשים כדי לעמוד בדרישות הגבוהות של תעשיית המוליכים למחצה.
למידע נוסף, בקר בכתובת:
האתר הרשמי של Semicera:https://www.semi-cera.com/
זמן פרסום: 24 בספטמבר 2024