מגמות חדשות בתעשיית המוליכים למחצה: היישום של טכנולוגיית ציפוי מגן

תעשיית המוליכים למחצה עדה לצמיחה חסרת תקדים, במיוחד בתחום שלסיליקון קרביד (SiC)אלקטרוניקת כוח. עם הרבה בקנה מידה גדולרָקִיקמותגים העוברים בנייה או התרחבות כדי לענות על הביקוש הגואה למכשירי SiC בכלי רכב חשמליים, פריחה זו מציגה הזדמנויות יוצאות דופן לצמיחה ברווחים. עם זאת, היא גם מביאה אתגרים ייחודיים הדורשים פתרונות חדשניים.

בליבה של הגדלת ייצור שבבי SiC גלובלי נמצא הייצור של גבישי SiC, פרוסות ושכבות אפיטקסיאליות באיכות גבוהה. כָּאן,גרפיט בדרגת מוליכים למחצהחומרים ממלאים תפקיד מרכזי, ומקלים על צמיחת גבישי SiC ותצהיר של שכבות אפיטקסיאליות SiC. הבידוד התרמי והאינרטיות של הגרפיט הופכים אותו לחומר מועדף, בשימוש נרחב בהיתוכים, כנים, דיסקים פלנטריים ולוויינים בתוך מערכות צמיחת גבישים ואפיטקסיה. עם זאת, תנאי התהליך הקשים מהווים אתגר משמעותי, המוביל לפירוק מהיר של רכיבי גרפיט ובעקבות כך מעכב את הייצור של גבישי SiC ושכבות אפיטקסיאליות באיכות גבוהה.

ייצור גבישי סיליקון קרביד כרוך בתנאי תהליך קשים ביותר, כולל טמפרטורות העולה על 2000 מעלות צלזיוס וחומרי גזים מאכלים מאוד. זה גורם לרוב לקורוזיה מוחלטת של כור היתוך גרפיט לאחר מספר מחזורי תהליך, ובכך מגדיל את עלויות הייצור. בנוסף, התנאים הקשים משנים את תכונות פני השטח של רכיבי גרפיט, ופוגעים בחזרתיות וביציבות של תהליך הייצור.

כדי להילחם באתגרים הללו בצורה יעילה, טכנולוגיית ציפוי מגן הופיעה כמשנה משחק. ציפוי מגן מבוסס עלטנטלום קרביד (TaC)הוצגו כדי לטפל בבעיות של השפלה של רכיבי גרפיט ומחסור באספקת גרפיט. חומרי TaC מציגים טמפרטורת התכה העולה על 3800 מעלות צלזיוס ועמידות כימית יוצאת דופן. מינוף טכנולוגיית שקיעת אדים כימית (CVD),ציפויי TaCעם עובי של עד 35 מילימטר ניתן להפקיד בצורה חלקה על רכיבי גרפיט. שכבת הגנה זו לא רק משפרת את יציבות החומר אלא גם מאריכה משמעותית את תוחלת החיים של רכיבי גרפיט, וכתוצאה מכך מפחיתה את עלויות הייצור ומשפרת את היעילות התפעולית.

Semicera, ספקית מובילה שלציפויי TaC, היה מכריע במהפכה בתעשיית המוליכים למחצה. עם הטכנולוגיה המתקדמת שלה והמחויבות הבלתי מעורערת לאיכות, Semicera אפשרה ליצרני מוליכים למחצה להתגבר על אתגרים קריטיים ולהשיג שיאים חדשים של הצלחה. על ידי הצעת ציפויים TaC עם ביצועים ואמינות שאין שני להם, Semicera חיזקה את מעמדה כשותפה מהימנה עבור חברות מוליכים למחצה ברחבי העולם.

לסיכום, טכנולוגיית ציפוי מגן, המופעלת על ידי חידושים כמוציפויי TaCמחברת Semicera, מעצבת מחדש את נוף המוליכים למחצה וסוללת את הדרך לעתיד יעיל ובר קיימא יותר.