הקצה הקדמי של פס הייצור הוא כמו הנחת היסוד ובניית קירות בית. בייצור מוליכים למחצה, שלב זה כרוך ביצירת המבנים הבסיסיים והטרנזיסטורים על פרוסות סיליקון.
השלבים העיקריים של FEOL:
1. ניקוי:התחל עם פרוסת סיליקון דקה ונקה אותה כדי להסיר כל זיהומים.
2. חמצון:גדל שכבה של סיליקון דו חמצני על הפרוסה כדי לבודד חלקים שונים של השבב.
3. פוליטוגרפיה:השתמש בפוטוליתוגרפיה כדי לחרוט דפוסים על גבי הרקיק, בדומה לציור שרטוטים עם אור.
4. תַחרִיט:תחרוט סיליקון דו חמצני לא רצוי כדי לחשוף את הדפוסים הרצויים.
5. סימום:הכנס זיהומים לסיליקון כדי לשנות את התכונות החשמליות שלו, יצירת טרנזיסטורים, אבני הבניין הבסיסיות של כל שבב.
Mid End of Line (MEOL): חיבור הנקודות
הקצה האמצעי של קו הייצור הוא כמו התקנת חיווט ואינסטלציה בבית. שלב זה מתמקד ביצירת קשרים בין הטרנזיסטורים שנוצרו בשלב FEOL.
השלבים העיקריים של MEOL:
1. שקיעה דיאלקטרית:הפקד שכבות בידוד (הנקראות דיאלקטריות) כדי להגן על הטרנזיסטורים.
2. יצירת קשר:יוצרים מגעים לחיבור הטרנזיסטורים זה לזה ולעולם החיצון.
3. חיבור:הוסף שכבות מתכת כדי ליצור מסלולים לאותות חשמליים, בדומה לחיווט בית כדי להבטיח זרימת חשמל ונתונים חלקים.
Back End of Line (BEOL): גימור
-
הקצה האחורי של קו הייצור הוא כמו הוספת הטאצ' האחרון לבית - התקנת אביזרים, צביעה והבטחה שהכל עובד. בייצור מוליכים למחצה, שלב זה כולל הוספת השכבות הסופיות והכנת השבב לאריזה.
השלבים העיקריים של BEOL:
1. שכבות מתכת נוספות:הוסף שכבות מתכת מרובות כדי לשפר את הקישוריות ההדדית, כדי להבטיח שהשבב יכול להתמודד עם משימות מורכבות ומהירויות גבוהות.
2. פסיביות:החל שכבות הגנה כדי להגן על השבב מפני נזקי הסביבה.
3. בדיקה:הכניסו את השבב לבדיקות קפדניות כדי לוודא שהוא עומד בכל המפרטים.
4. קוביות:חותכים את הוופל לצ'יפס אישיים, כל אחד מוכן לאריזה ולשימוש במכשירים אלקטרוניים.
זמן פרסום: יולי-08-2024