יישום של קרמיקה סיליקון קרביד בתחום המוליכים למחצה

מוליכים למחצה:

תעשיית המוליכים למחצה פועלת לפי החוק התעשייתי של "דור אחד של טכנולוגיה, דור אחד של תהליך ודור אחד של ציוד", והשדרוג והאיטרציה של ציוד מוליכים למחצה תלויים במידה רבה בפריצת הדרך הטכנולוגית של חלקים מדויקים. ביניהם, חלקי קרמיקה מדויקים הם החומרים המייצגים ביותר של חלקי מוליכים למחצה מדויקים, שיש להם יישומים חשובים בסדרה של קישורים עיקריים לייצור מוליכים למחצה כגון שקיעת אדים כימית, שקיעת אדים פיזית, השתלת יונים ותחריט. כגון מיסבים, מסילות מנחים, בטנות, צ'אקים אלקטרוסטטיים, זרועות טיפול מכניות וכו'. במיוחד בתוך חלל הציוד, הוא ממלא את התפקיד של תמיכה, הגנה והסטה.

מאז 2023, הולנד ויפן גם הוציאו ברציפות תקנות חדשות או גזירות סחר חוץ בנושא בקרה, והוסיפו תקנות רישיון יצוא לציוד מוליכים למחצה כולל מכונות ליתוגרפיה, ומגמת האנטי-גלובליזציה של מוליכים למחצה הופיעה בהדרגה. החשיבות של בקרה עצמאית בשרשרת האספקה ​​הופכת בולטת יותר ויותר. מול הדרישה ללוקליזציה של חלקי ציוד מוליכים למחצה, חברות מקומיות מקדמות באופן פעיל פיתוח תעשייתי. Zhongci Electronics הבינה את הלוקליזציה של חלקי היי-טק מדויקים כגון לוחות חימום וצ'אקים אלקטרוסטטיים, ופותרת את בעיית "צוואר הבקבוק" של תעשיית ציוד המוליכים למחצה המקומית; Dezhi New Materials, ספקית מקומית מובילה של בסיסי גרפיט מצופים SiC וטבעות תחריט SiC, השלימה בהצלחה מימון של 100 מיליון יואן וכו'...
מצע קרמי סיליקון ניטריד בעל מוליכות גבוהה:

מצעים קרמיים של סיליקון ניטריד משמשים בעיקר ביחידות הכוח, התקני מוליכים למחצה וממירים של כלי רכב חשמליים טהורים (EVs) וכלי רכב חשמליים היברידיים (HEVs), ויש להם פוטנציאל שוק עצום ואפשרויות יישום.

כיום, חומרי המצע הקרמי של סיליקון ניטריד עם מוליכות תרמית גבוהה ליישומים מסחריים דורשים מוליכות תרמית ≥85 W/(m·K), חוזק כיפוף ≥650MPa, וקשיחות שבר 5~7MPa·m1/2. החברות שבאמת יש להן את היכולת לייצר המוני מצעים קרמיים של סיליקון ניטריד עם מוליכות תרמית גבוהה הן בעיקר Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa ו-Japan Fine Ceramics.

מחקר מקומי על חומרי מצע קרמי סיליקון ניטריד התקדם אף הוא. המוליכות התרמית של מצע הקרמי סיליקון ניטריד שהוכן בתהליך יציקת הקלטת של סניף בייג'ינג של Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd היא 100 W/(m·K); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd הכינה בהצלחה מצע קרמי סיליקון ניטריד בעל חוזק כיפוף של 700-800MPa, קשיחות שבר ≥8MPa·m1/2, ומוליכות תרמית ≥80W/(m·K) על ידי אופטימיזציה של שיטת הסינטרינג והתהליך.