סירת גרפיט PECVD איזוסטטית של SEMICERA היא מוצר גרפיט בעל טוהר גבוה וצפיפות גבוהה המיועד לתמיכת פרוסות בתהליך PECVD (השקעת אדים כימית משופרת בפלזמה). SEMICERA משתמשת בטכנולוגיית לחיצה איזוסטטית מתקדמת כדי להבטיח שלסירת הגרפיט יש עמידות מצוינת בטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה, יציבות מימדית ומוליכות תרמית טובה, שהיא חומר מתכלה הכרחי בתהליך ייצור המוליכים למחצה.
לסירת גרפיט PECVD איזוסטטית של SEMICERA יש את היתרונות הבאים:
▪ טוהר גבוה: חומר הגרפיט הוא בעל טוהר גבוה ותכולת טומאה נמוכה כדי למנוע זיהום של משטח הוופל.
▪ צפיפות גבוהה: צפיפות גבוהה, חוזק מכני גבוה, יכול לעמוד בטמפרטורה גבוהה ובסביבת ואקום גבוה.
▪ יציבות מימדית טובה: שינוי ממדי קטן בטמפרטורה גבוהה להבטחת יציבות התהליך.
▪ מוליכות תרמית מעולה: העברת חום ביעילות למניעת התחממות יתר של פרוסות.
▪ עמידות בפני קורוזיה חזקה: מסוגלת לעמוד בפני שחיקה על ידי גזים קורוזיביים ופלזמה שונים.
| פרמטר ביצועים | semicera | SGL R6510 | פרמטר ביצועים |
| צפיפות נפח (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| חוזק כיפוף (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| חוזק לחיצה (MPa) | 135 | 130 | 103 |
| קשיות חוף (HS) | 70 | 64 | 60 |
| מקדם התפשטות תרמית（10-6/K） | 85 | 105 | 130 |
| מקדם התפשטות תרמית（10-6/K） | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| התנגדות (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
יתרונות הבחירה בנו:
▪ בחירת חומרים: נעשה שימוש בחומרי גרפיט בטוהר גבוה להבטחת איכות המוצר.
▪ טכנולוגיית עיבוד: לחיצה איזוסטטית משמשת להבטחת צפיפות ואחידות המוצר.
▪ התאמה אישית של גודל: ניתן להתאים סירות גרפיט בגדלים וצורות שונות בהתאם לצרכי הלקוח.
▪ טיפול פני השטח: מגוון שיטות טיפול פני השטח מסופקות, כגון ציפוי סיליקון קרביד, בורון ניטריד וכו', כדי לעמוד בדרישות תהליך שונות.
