חלקי CVD SILICON CARBIDE מוצקים מוכרים כבחירה העיקרית עבור טבעות ובסיסים RTP/EPI וחלקי חלל צריבה בפלזמה הפועלים בטמפרטורות עבודה גבוהות הנדרשות למערכת (>1500℃), הדרישות לטוהר גבוהות במיוחד (>99.9995%) ו הביצועים טובים במיוחד כאשר העמידות בפני כימיקלים גבוהה במיוחד. חומרים אלו אינם מכילים פאזות משניות בשולי התבואה, כך שמרכיביהם מייצרים פחות חלקיקים מחומרים אחרים. בנוסף, ניתן לנקות רכיבים אלו על ידי שימוש ב-HF/HCl חם עם פירוק מועט, וכתוצאה מכך פחות חלקיקים וחיי שירות ארוכים יותר.
