סירת ופל SiC
סירת פרוסות סיליקון קרבידהוא מכשיר נושא עומס לפרוסים, המשמש בעיקר בתהליכי דיפוזיה של מוליכים למחצה ומשמשים. יש לו מאפיינים כגון עמידות בפני שחיקה, עמידות בפני קורוזיה, עמידות בפני פגיעות בטמפרטורות גבוהות, עמידות בפני הפצצות פלזמה, יכולת נשיאה בטמפרטורה גבוהה, מוליכות תרמית גבוהה, פיזור חום גבוה ושימוש ארוך טווח שאינו קל לכיפוף ועיוות. החברה שלנו משתמשת בחומר סיליקון קרביד בטוהר גבוה כדי להבטיח חיי שירות ומספקת עיצובים מותאמים אישית, כולל. שונים אנכיים ואופקייםסירת רקיק.
משוט SiC
המשוט שלוחה מסיליקון קרבידמשמש בעיקר בציפוי (דיפוזיה) של פרוסות סיליקון, אשר ממלא תפקיד מכריע בהעמסה ושינוע של פרוסות סיליקון בטמפרטורה גבוהה. זה מרכיב מרכזי שלפרוסות מוליכים למחצהמערכות טעינה ובעל המאפיינים העיקריים הבאים:
1. הוא אינו מתעוות בסביבות טמפרטורות גבוהות ויש לו כוח העמסה גבוה על הפרוסים;
2. הוא עמיד בפני קור קיצוני וחום מהיר, ובעל חיי שירות ארוכים;
3. מקדם ההתפשטות התרמית קטן, מאריך מאוד את מחזור התחזוקה והניקוי ומפחית משמעותית מזהמים.
צינור תנור SiC
צינור תהליך סיליקון קרביד, עשוי SiC בטוהר גבוה ללא זיהומים מתכתיים, אינו מזהם את הפרוסה, ומתאים לתהליכים כגון דיפוזיה מוליכים למחצה ופוטו-וולטאיים, תהליך חישול וחמצון.
זרוע רובוט SiC
זרוע רובוט SiC, הידוע גם בשם אפקט קצה העברת רקיק, הוא זרוע רובוטית המשמשת להובלת פרוסות מוליכים למחצה ונמצאת בשימוש נרחב בתעשיות מוליכים למחצה, אופטואלקטרוניקה ואנרגיה סולארית. שימוש בסיליקון קרביד בטוהר גבוה, בעל קשיות גבוהה, עמידות בפני שחיקה, עמידות סיסמית, שימוש ארוך טווח ללא עיוות, חיי שירות ארוכים וכו', יכול לספק שירותים מותאמים אישית.
גרפיט לצמיחת גבישים
מגן חום גרפיט
צינור אלקטרודה גרפיט
מסיט גרפיט
צ'אק גרפיט
כל התהליכים המשמשים לגידול מוליכים למחצה פועלים בסביבות בטמפרטורה גבוהה ובסביבות קורוזיביות. האזור החם של תנור צמיחת הגבישים מאופיין בדרך כלל בטוהר גבוה עמיד בחום ועמיד בפני קורוזיה. רכיבי גרפיט, כגון מחממי גרפיט, כור היתוך, צילינדרים, מסיט, צ'אקים, צינורות, טבעות, מחזיקים, אגוזים וכו' המוצר המוגמר שלנו יכול להשיג תכולת אפר של פחות מ-5 עמודים לדקה.
גרפיט לאפיטקסיה מול מוליכים למחצה
בסיס גרפיט
חבית אפיטקסיאלית גרפיט
Monocry Stalline Silicon Epitaxial Base
חלקי גרפיט MOCVD
מתקן גרפיט מוליכים למחצה
תהליך אפיטקסיאלי מתייחס לצמיחה של חומר גבישי בודד על מצע גביש יחיד עם סידור סריג זהה למצע. זה דורש חלקי גרפיט בטוהר אולטרה גבוה ובסיס גרפיט עם ציפוי SIC. הגרפיט בטוהר הגבוה המשמש לאפיטקסיה של מוליכים למחצה יש מגוון רחב של יישומים, שיכולים להתאים לציוד הנפוץ ביותר בתעשייה, יחד עם זאת, יש לו רמה גבוהה ביותר. טוהר, ציפוי אחיד, חיי שירות מצוינים ועמידות כימית גבוהה במיוחד ויציבות תרמית.
חומר בידוד ועוד
חומרי בידוד תרמי המשמשים בייצור מוליכים למחצה הם לבד גרפיט קשיח, לבד רך, רדיד גרפיט, חומרים מרוכבים פחמן ועוד. חומרי הגלם שלנו הם חומרי גרפיט מיובאים, הניתנים לחיתוך לפי מפרט הלקוחות, וניתן למכור אותם גם בתור כֹּל. חומר מרוכב פחמן משמש בדרך כלל כנשא לתהליך ייצור חד-גביש ותאי פוליסיליקון.