תֵאוּר
קרמיקת סיליקון קרביד בעלת תכונות מכניות מצוינות בטמפרטורת החדר, כגון חוזק גבוה, קשיות גבוהה, מודול אלסטי גבוה וכו', יש לה גם יציבות מצוינת בטמפרטורה גבוהה כמו מוליכות תרמית גבוהה, מקדם התפשטות תרמית נמוך וקשיחות ספציפית ואופטית טובה. ביצועי עיבוד.
הם מתאימים במיוחד לייצור חלקי קרמיקה מדויקים עבור ציוד מעגלים משולבים כגון מכונות ליתוגרפיה, המשמשים בעיקר לייצור מנשא/סוד SiC, סירת פרוסות SiC, דיסק יניקה, לוחית קירור מים, רפלקטור מדידה מדויק, סורג וחלקי מבנה קרמיים אחרים
יתרונות
עמידות בטמפרטורה גבוהה: שימוש רגיל ב-1800 ℃
מוליכות תרמית גבוהה: שווה ערך לחומר גרפיט
קשיות גבוהה: קשיות שנייה רק ליהלום, בורון ניטריד
עמידות בפני קורוזיה: לחומצה חזקה ולאלקלי אין קורוזיה, עמידות בפני קורוזיה טובה יותר מאשר טונגסטן קרביד ואלומינה
קל משקל: צפיפות נמוכה, קרוב לאלומיניום
ללא דפורמציה: מקדם התפשטות תרמית נמוך
עמידות בפני זעזועים תרמיים: הוא יכול לעמוד בשינויי טמפרטורה חדים, להתנגד להלם תרמי ובעל ביצועים יציבים
נשא סיליקון קרביד כגון מנשא תחריט sic, susceptor צריבה ICP, נמצאים בשימוש נרחב ב-CVD מוליכים למחצה, קיצוץ ואקום וכו'. אנו יכולים לספק ללקוחות מנשאים מותאמים אישית של חומרי סיליקון וסיליקון קרביד כדי לענות על יישומים שונים.
יתרונות
| נֶכֶס | עֵרֶך | שִׁיטָה |
| צְפִיפוּת | 3.21 גרם/סמ"ק | כיור-ציף וממד |
| חום ספציפי | 0.66 J/g °K | פלאש לייזר דופק |
| חוזק כפיפה | 450 MPa560 MPa | עיקול 4 נקודות, עיקול נקודתי RT4, 1300° |
| קשיחות שבר | 2.94 MPa m1/2 | מיקרו אינדנטציה |
| קַשִׁיוּת | 2800 | Vicker's, עומס של 500 גרם |
| מודולוס אלסטי של ModulusYoung | 450 GPa430 GPa | עיקול 4 נקודות, עיקול RT4 נק', 1300 מעלות צלזיוס |
| גודל גרגר | 2 - 10 מיקרומטר | SEM |
פרופיל החברה
WeiTai Energy Technology Co., Ltd היא ספקית מובילה של קרמיקה מוליכים למחצה מתקדמת והיצרנית היחידה בסין שיכולה לספק בו זמנית קרמיקה סיליקון קרביד בטוהר גבוה (במיוחד SiC מחדש) וציפוי CVD SiC. בנוסף, חברתנו מתחייבת גם לתחומי קרמיקה כגון אלומינה, אלומיניום ניטריד, זירקוניה וסיליקון ניטריד וכו'.
המוצרים העיקריים שלנו כוללים: דיסק תחריט סיליקון קרביד, גרר סירת סיליקון קרביד, סירת פרוסות סיליקון קרביד (פוטו-וולטאיק & מוליכים למחצה), צינור תנור סיליקון קרביד, משוט שלוחה מסיליקון קרביד, צ'אקים מסיליקון קרביד, קורת סיליקון קרביד, קורת ה-CVD, כמו גם ציפוי TaC שִׁכבָה. המוצרים המשמשים בעיקר בתעשיות המוליכים למחצה והפוטו-וולטאיים, כגון ציוד לצמיחת גבישים, אפיטקסיה, תחריט, אריזה, תנורי ציפוי ודיפוזיה וכו'.
תַחְבּוּרָה
