חבית מצופה טנטלום קרביד נקבובי בטוהר גבוה

תיאור קצר:

חבית מצופה טנטלום קרביד נקבובי ברמת טוהר גבוהה של Semicera תוכננה במיוחד עבור תנורי גידול גבישי סיליקון קרביד (SiC). כולל ציפוי טנטלום קרביד בטוהר גבוה ומבנה נקבובי, חבית זו מספקת יציבות תרמית יוצאת דופן ועמידות בפני קורוזיה כימית. טכנולוגיית הציפוי המתקדמת של Semicera מבטיחה ביצועים ויעילות לאורך זמן בתהליכי צמיחת גבישי SiC, מה שהופך אותה לבחירה אידיאלית עבור יישומי מוליכים למחצה תובעניים.


פירוט המוצר

תגיות מוצר

מצופה טנטלום קרביד נקבוביהחבית היא טנטלום קרביד כחומר הציפוי העיקרי, לקרביד טנטלום יש עמידות מצוינת בפני קורוזיה, עמידות בפני שחיקה ויציבות בטמפרטורה גבוהה. זה יכול להגן ביעילות על חומר הבסיס מפני שחיקה כימית ואווירה בטמפרטורה גבוהה. לחומר הבסיס יש בדרך כלל את המאפיינים של עמידות בטמפרטורה גבוהה ועמידות בפני קורוזיה. זה יכול לספק חוזק מכני טוב ויציבות כימית, ובו בזמן לשמש כבסיס התומך שלציפוי טנטלום קרביד.

 

Semicera מספקת ציפויים מיוחדים של טנטלום קרביד (TaC) עבור רכיבים ומנשאים שונים.תהליך הציפוי המוביל של Semicera מאפשר לציפויי טנטלום קרביד (TaC) להשיג טוהר גבוה, יציבות טמפרטורה גבוהה וסובלנות כימית גבוהה, שיפור איכות המוצר של גבישי SIC/GAN ושכבות EPI (קולט TaC מצופה גרפיט), והארכת החיים של רכיבי כור מרכזיים. השימוש בציפוי טנטלום קרביד TaC נועד לפתור את בעיית הקצה ולשפר את איכות צמיחת הגבישים, ו-Semicera פיתחה פריצת דרך בטכנולוגיית ציפוי טנטלום קרביד (CVD), והגיעה לרמה המתקדמת הבינלאומית.

 

לאחר שנים של פיתוח, Semicera כבשה את הטכנולוגיה שלCVD TaCבמאמצים משותפים של מחלקת המו"פ. קל להתרחש פגמים בתהליך הצמיחה של פרוסות SiC, אך לאחר השימושTaC, ההבדל הוא משמעותי. להלן השוואה של פרוסות עם ובלי TaC, כמו גם חלקים של Simicera לצמיחת גביש בודד.

微信图片_20240227150045

עם ובלי TaC

微信图片_20240227150053

לאחר שימוש ב-Tac (מימין)

יתר על כן, של Semiceraמוצרים מצופים ב-Tacמציגים חיי שירות ארוכים יותר ועמידות גבוהה יותר בטמפרטורה גבוהה בהשוואה לציפויי SiC.מדידות מעבדה הוכיחו כי שלנוציפויי TaCיכול לפעול באופן עקבי בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס לתקופות ממושכות. להלן כמה דוגמאות לדוגמאות שלנו:

 
0(1)
מקום עבודה של Semicera
מקום עבודה של Semicera 2
מכונת ציוד
בית מוצרי סמיקרה
עיבוד CNN, ניקוי כימי, ציפוי CVD
השירות שלנו

  • קוֹדֵם:
  • הַבָּא: