אפיטקסיה של GaN

תיאור קצר:

GaN Epitaxy היא אבן יסוד בייצור התקני מוליכים למחצה בעלי ביצועים גבוהים, המציעים יעילות יוצאת דופן, יציבות תרמית ואמינות. פתרונות GaN Epitaxy של Semicera מותאמים לעמוד בדרישות של יישומים חדישים, ומבטיחים איכות ועקביות מעולים בכל שכבה.


פירוט המוצר

תגיות מוצר

Semiceraמציגה בגאווה את הקצה החדיש שלהאפיטקסיה של GaNשירותים, שנועדו לענות על הצרכים המתפתחים של תעשיית המוליכים למחצה. גליום ניטריד (GaN) הוא חומר הידוע בתכונותיו יוצאות הדופן, ותהליכי הצמיחה האפיטקסיאליים שלנו מבטיחים שהיתרונות הללו יתממשו במלואם במכשירים שלך.

שכבות GaN בעלות ביצועים גבוהים Semiceraמתמחה בייצור של איכות גבוההאפיטקסיה של GaNשכבות, המציעות טוהר חומר שאין שני לו ושלמות מבנית. שכבות אלו הן קריטיות עבור מגוון יישומים, מאלקטרוניקה כוח ועד אופטואלקטרוניקה, שבהן ביצועים ואמינות מעולים הם חיוניים. טכניקות הגידול המדויקות שלנו מבטיחות שכל שכבת GaN עומדת בסטנדרטים המדויקים הנדרשים להתקנים חדישים.

מותאם ליעילותהאפיטקסיה של GaNמסופק על ידי Semicera תוכנן במיוחד כדי לשפר את היעילות של הרכיבים האלקטרוניים שלך. על ידי אספקת שכבות GaN עם פגמים נמוכים וטוהר גבוה, אנו מאפשרים למכשירים לפעול בתדרים ומתחים גבוהים יותר, עם אובדן הספק מופחת. אופטימיזציה זו היא המפתח עבור יישומים כגון טרנזיסטורים בעלי ניידות אלקטרונית גבוהה (HEMT) ודיודות פולטות אור (LED), שבהם היעילות היא מעל הכל.

פוטנציאל יישום רב-תכליתי Semiceraשלאפיטקסיה של GaNהוא רב תכליתי, ומספק מגוון רחב של תעשיות ויישומים. בין אם אתם מפתחים מגברי הספק, רכיבי RF או דיודות לייזר, השכבות האפיטקסיות של GaN שלנו מספקות את הבסיס הדרוש להתקנים אמינים בעלי ביצועים גבוהים. התהליך שלנו יכול להיות מותאם כדי לעמוד בדרישות ספציפיות, כדי להבטיח שהמוצרים שלך ישיגו תוצאות מיטביות.

מחויבות לאיכותאיכות היא אבן היסוד שלSemiceraהגישה שלאפיטקסיה של GaN. אנו משתמשים בטכנולוגיות צמיחה אפיטקסיאליות מתקדמות ובאמצעי בקרת איכות קפדניים כדי לייצר שכבות GaN המציגות אחידות מצוינת, צפיפות פגמים נמוכה ותכונות חומר מעולות. מחויבות זו לאיכות מבטיחה שהמכשירים שלך לא רק עומדים אלא גם עולים על תקני התעשייה.

טכניקות צמיחה חדשניות Semiceraנמצאת בחזית החדשנות בתחום שלאפיטקסיה של GaN. הצוות שלנו בוחן ללא הרף שיטות וטכנולוגיות חדשות לשיפור תהליך הצמיחה, ומספק שכבות GaN עם מאפיינים חשמליים ותרמיים משופרים. חידושים אלו מתורגמים למכשירים בעלי ביצועים טובים יותר, המסוגלים לעמוד בדרישות של יישומי הדור הבא.

פתרונות מותאמים אישית לפרויקטים שלךמתוך הכרה שלכל פרויקט יש דרישות ייחודיות,Semiceraהצעות מותאמות אישיתאפיטקסיה של GaNפתרונות. בין אם אתה צריך פרופילי סימום ספציפיים, עובי שכבות או גימורי משטח, אנו עובדים בשיתוף פעולה הדוק איתך כדי לפתח תהליך שיענה על הצרכים המדויקים שלך. המטרה שלנו היא לספק לך שכבות GaN שתוכננו בדיוק כדי לתמוך בביצועים ובאמינות של המכשיר שלך.

פריטים

הֲפָקָה

מֶחקָר

דֶמֶה

פרמטרים של קריסטל

פוליטייפ

4H

שגיאת כיוון פני השטח

<11-20 >4±0.15°

פרמטרים חשמליים

דופנט

חנקן מסוג n

הִתנַגְדוּת סְגוּלִית

0.015-0.025 אוהם·ס"מ

פרמטרים מכניים

קוֹטֶר

150.0±0.2 מ"מ

עוֹבִי

350±25 מיקרומטר

כיוון שטוח ראשוני

[1-100]±5°

אורך שטוח ראשוני

47.5±1.5 מ"מ

דירה משנית

אַף לֹא אֶחָד

TTV

≤5 מיקרומטר

≤10 מיקרומטר

≤15 מיקרומטר

LTV

≤3 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ)

≤5 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ)

≤10 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ)

קֶשֶׁת

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

לְעַקֵם

≤35 מיקרומטר

≤45 מיקרומטר

≤55 מיקרומטר

חספוס קדמי (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

מִבְנֶה

צפיפות מיקרופייפ

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

זיהומי מתכת

≤5E10אטומים/סמ"ר

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

איכות חזית

חֲזִית

Si

גימור פני השטח

Si-Face CMP

חלקיקים

≤60ea/wafer (גודל≥0.3μm)

NA

שריטות

≤5ea/mm. אורך מצטבר ≤קוטר

אורך מצטבר≤2*קוטר

NA

קליפת תפוז / חרצנים / כתמים / פסים / סדקים / זיהום

אַף לֹא אֶחָד

NA

שבבי קצה/חריצים/שבר/צלחות משושה

אַף לֹא אֶחָד

אזורים פוליטיפיים

אַף לֹא אֶחָד

שטח מצטבר ≤20%

שטח מצטבר ≤30%

סימון לייזר קדמי

אַף לֹא אֶחָד

איכות גב

גימור אחורי

C-face CMP

שריטות

≤5ea/mm, אורך מצטבר≤2*קוטר

NA

פגמים בגב (שבבי קצה/חריצים)

אַף לֹא אֶחָד

חספוס גב

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

סימון לייזר אחורי

1 מ"מ (מהקצה העליון)

קָצֶה

קָצֶה

Chamfer

אריזה

אריזה

אפי מוכן עם אריזת ואקום

אריזת קלטת מרובת ופל

*הערות: "NA" פירושו ללא בקשה פריטים שאינם מוזכרים עשויים להתייחס ל-SEMI-STD.

tech_1_2_size
פרוסות SiC

  • קוֹדֵם:
  • הַבָּא: