CVD מצופה טנטלום קרביד חצי ירח עליון

תיאור קצר:

עם הופעתם של פרוסות סיליקון קרביד (SiC) בגודל 8 אינץ', הדרישות לתהליכי מוליכים למחצה שונים הפכו מחמירות יותר ויותר, במיוחד עבור תהליכי אפיטקסיה שבהם הטמפרטורות יכולות לעלות על 2000 מעלות צלזיוס.חומרים סופגים מסורתיים, כגון גרפיט מצופה בסיליקון קרביד, נוטים להסתלבט בטמפרטורות גבוהות אלו, ומשבשים את תהליך האפיטקסיה.עם זאת, CVD טנטלום קרביד (TaC) מטפל בבעיה זו ביעילות, עמיד בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס ומציע חיי שירות ארוכים יותר.צור קשר עם Semicera's CVD מצופה טנטלום קרביד חצי ירח עליוןלחקור עוד על הפתרונות המתקדמים שלנו.


פירוט המוצר

תגיות מוצר

Semicera מספקת ציפויים מיוחדים של טנטלום קרביד (TaC) עבור רכיבים ומנשאים שונים.תהליך הציפוי המוביל של Semicera מאפשר לציפויי טנטלום קרביד (TaC) להשיג טוהר גבוה, יציבות טמפרטורה גבוהה וסובלנות כימית גבוהה, שיפור איכות המוצר של גבישי SIC/GAN ושכבות EPI (קולט TaC מצופה גרפיט), והארכת החיים של רכיבי כור מרכזיים.השימוש בציפוי טנטלום קרביד TaC נועד לפתור את בעיית הקצה ולשפר את איכות צמיחת הגבישים, ו-Semicera פיתחה פריצת דרך בטכנולוגיית ציפוי טנטלום קרביד (CVD), והגיעה לרמה המתקדמת הבינלאומית.

 

עם הופעתם של פרוסות סיליקון קרביד (SiC) בגודל 8 אינץ', הדרישות לתהליכי מוליכים למחצה שונים הפכו מחמירות יותר ויותר, במיוחד עבור תהליכי אפיטקסיה שבהם הטמפרטורות יכולות לעלות על 2000 מעלות צלזיוס.חומרים סופגים מסורתיים, כגון גרפיט מצופה בסיליקון קרביד, נוטים להסתלבט בטמפרטורות גבוהות אלו, ומשבשים את תהליך האפיטקסיה.עם זאת, CVD טנטלום קרביד (TaC) מטפל בבעיה זו ביעילות, עמיד בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס ומציע חיי שירות ארוכים יותר.צור קשר עם Semicera's CVD מצופה טנטלום קרביד חצי ירח עליוןלחקור עוד על הפתרונות המתקדמים שלנו.

לאחר שנים של פיתוח, Semicera כבשה את הטכנולוגיה שלCVD TaCבמאמצים משותפים של מחלקת המו"פ.קל להתרחש פגמים בתהליך הצמיחה של פרוסות SiC, אך לאחר השימושTaC, ההבדל הוא משמעותי.להלן השוואה של פרוסות עם ובלי TaC, כמו גם חלקים של Simicera לצמיחת גביש בודד.

微信图片_20240227150045

עם ובלי TaC

微信图片_20240227150053

לאחר שימוש ב-Tac (מימין)

יתר על כן, של Semiceraמוצרים מצופים ב-Tacמציגים חיי שירות ארוכים יותר ועמידות גבוהה יותר בטמפרטורה גבוהה בהשוואה לציפויי SiC.מדידות מעבדה הוכיחו כי שלנוציפויי TaCיכול לפעול באופן עקבי בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס לתקופות ממושכות.להלן כמה דוגמאות לדוגמאות שלנו:

 
3

קולט מצופה TaC

4

גרפיט עם כור מצופה TaC

0(1)
מקום עבודה של Semicera
מקום עבודה של Semicera 2
מכונת ציוד
בית מוצרי סמיקרה
עיבוד CNN, ניקוי כימי, ציפוי CVD
השירות שלנו

  • קודם:
  • הַבָּא: