מבוא לציפוי סיליקון קרביד
ציפוי הסיליקון קרביד (SiC) שלנו הוא שכבה עמידה ועמידה בפני שחיקה, אידיאלית עבור סביבות הדורשות עמידות גבוהה בפני קורוזיה ותרמית.ציפוי סיליקון קרבידמיושם בשכבות דקות על מצעים שונים באמצעות תהליך CVD, המציע מאפייני ביצועים מעולים.
תכונות מפתח
● -טוהר יוצא דופן: מתגאה בהרכב טהור במיוחד של99.99995%, שלנוציפוי SiCממזער סיכוני זיהום בפעולות מוליכים למחצה רגישים.
● -התנגדות מעולה: מציג עמידות מצוינת הן בפני שחיקה והן בפני קורוזיה, מה שהופך אותו למושלם עבור הגדרות כימיות ופלזמה מאתגרות.
● -מוליכות תרמית גבוהה: מבטיח ביצועים אמינים תחת טמפרטורות קיצוניות הודות לתכונות התרמיות המצטיינות שלו.
● -יציבות מימדית: שומר על שלמות מבנית בטווח רחב של טמפרטורות, הודות למקדם ההתפשטות התרמית הנמוך שלו.
● -קשיות מוגברת: עם דירוג קשיות של40 GPA, ציפוי ה-SiC שלנו עומד בפני פגיעה ושחיקה משמעותיים.
● גימור משטח חלק: מספק גימור דמוי מראה, מפחית יצירת חלקיקים ומשפר את היעילות התפעולית.
יישומים
Semicera ציפויי SiCמשמשים בשלבים שונים של ייצור מוליכים למחצה, כולל:
● -ייצור שבב LED
● -ייצור פוליסיליקון
● -צמיחת קריסטל מוליכים למחצה
● -סיליקון ו- SiC Epitaxy
● -חמצון תרמי ודיפוזיה (TO&D)
אנו מספקים רכיבים מצופים SiC העשויים מגרפיט איזוסטטי בעל חוזק גבוה, פחמן מחוזק בסיבי פחמן ו-4N סיליקון קרביד מגובש מחדש, המותאמים לכורים במיטה נוזלית,ממירי STC-TCS, מחזירי יחידת CZ, סירת פרוסות SiC, משוט SiCwafer, צינור רקיקי SiC ונושאי רקיק המשמשים בתהליכי PECVD, סיליקון, תהליכי MOCVD.
הטבות
● -אורך חיים מורחב: מפחית באופן משמעותי את זמן השבתת הציוד ואת עלויות התחזוקה, ומשפר את יעילות הייצור הכוללת.
● -איכות משופרת: משיג משטחים בטוהר גבוה הנחוצים לעיבוד מוליכים למחצה, ובכך מגביר את איכות המוצר.
● -יעילות מוגברת: מייעל תהליכים תרמיים ו-CVD, וכתוצאה מכך זמני מחזור קצרים יותר ותפוקות גבוהות יותר.
מפרט טכני
● -מבנה: FCC β שלב פוליקריסטלי, מכוון בעיקר (111).
● -צפיפות: 3.21 גרם/ס"מ³
● -קשיות: 2500 קשיות Vickes (עומס של 500 גרם)
● -קשיחות שבר: 3.0 MPa·m1/2
● -מקדם התפשטות תרמית (100-600 מעלות צלזיוס): 4.3 x 10-6k-1
● -מודול אלסטי(1300℃):435 GPa
● -עובי סרט טיפוסי:100 מיקרומטר
● -חספוס פני השטח:2-10 מיקרומטר
נתוני טוהר (נמדד באמצעות ספקטרוסקופיה מסה של פריקת זוהר)
| אֵלֵמֶנט | ppm | אֵלֵמֶנט | ppm |
| Li | < 0.001 | Cu | < 0.01 |
| Be | < 0.001 | Zn | < 0.05 |
| אל | < 0.04 | Ga | < 0.01 |
| P | < 0.01 | Ge | < 0.05 |
| S | < 0.04 | As | < 0.005 |
| K | < 0.05 | In | < 0.01 |
| Ca | < 0.05 | Sn | < 0.01 |
| Ti | < 0.005 | Sb | < 0.01 |
| V | < 0.001 | W | < 0.05 |
| Cr | < 0.05 | Te | < 0.01 |
| Mn | < 0.005 | Pb | < 0.01 |
| Fe | < 0.05 | Bi | < 0.05 |
| Ni | < 0.01 |
|
