טבעת SiC CVD בתפזורת

תיאור קצר:

טבעות CVD SiC בתפזורת משתמשות בגז מקור סיליקון (כגון סיליקון הידריד) ובגז מקור פחמן (כגון מתאן) כחומרי גלם, המגיבות בטמפרטורה גבוהה כדי להפקיד חומרי SiC בגודל גדול על מצע או תבנית. תהליך זה מאפשר להציב SiC באופן אחיד על פני שטח גדול, וליצור מבנה טבעת חזק ועקבי.

שלחו לנו מייל

פירוט המוצר

תגיות מוצר

מדוע היא טבעת תחריט סיליקון קרביד?

RTPטבעות CVD SiCנמצאים בשימוש נרחב בתחומים תעשייתיים ומדעיים בטמפרטורה גבוהה ובסביבות קורוזיביות. הוא ממלא תפקיד חשוב בייצור מוליכים למחצה, אלקטרוניקה אופטו, מכונות דיוק ותעשייה כימית. יישומים ספציפיים כוללים:

1. ייצור מוליכים למחצה:RTP CVD טבעות SiCיכול לשמש לחימום וקירור של ציוד מוליכים למחצה, מתן בקרת טמפרטורה יציבה והבטחת הדיוק והעקביות של התהליך.

2. אופטואלקטרוניקה: בשל מוליכות תרמית מעולה ועמידות בטמפרטורה גבוהה, RTPטבעות CVD SiCיכול לשמש כחומרי תמיכה ופיזור חום עבור לייזרים, ציוד תקשורת סיבים אופטיים ורכיבים אופטיים.

3. מכונות דיוק: ניתן להשתמש בטבעות RTP CVD SiC עבור מכשירים וציוד מדויקים בטמפרטורה גבוהה ובסביבות קורוזיביות, כגון תנורים בטמפרטורה גבוהה, התקני ואקום וכורים כימיים.

4. תעשייה כימית: בשל עמידותה בפני קורוזיה ויציבותה הכימית, ניתן להשתמש בטבעות RTP CVD SiC במיכלים, צינורות וכורים בתגובות כימיות ובתהליכים קטליטיים.

מערכת אפי

מערכת RTP

מערכת CVD

ביצועי המוצר:

1. הכירו את התהליך מתחת ל-28nm

2. עמידות בפני קורוזיה סופר

3. ביצועים סופר נקיים

4. סופר קשיות

5. צפיפות גבוהה

6. עמידות בטמפרטורה גבוהה

7. התנגדות ללבוש

יישום מוצר:

לחומרי סיליקון קרביד יש מאפיינים של קשיות גבוהה, עמידות בפני שחיקה, עמידות בפני קורוזיה ויציבות בטמפרטורה גבוהה. מוצרים עם ביצועים מקיפים מצוינים נמצאים בשימוש נרחב בתהליכי תחריט יבש ו-TF/דיפוזיה.