וויפלים HPSI SiC מבודדים למחצה בגודל 6 אינץ' של Semicera מתוכננים לענות על הדרישות הקפדניות של טכנולוגיית מוליכים למחצה מודרנית. עם טוהר ועקביות יוצאי דופן, פרוסות אלו משמשות בסיס אמין לפיתוח רכיבים אלקטרוניים בעלי יעילות גבוהה.
פרוסות HPSI SiC אלו ידועות במוליכות התרמית יוצאת הדופן והבידוד החשמלי שלהן, שהן קריטיות למיטוב הביצועים של התקני כוח ומעגלים בתדר גבוה. תכונות הבידוד למחצה מסייעות במזעור הפרעות חשמליות ומקסום יעילות המכשיר.
תהליך הייצור האיכותי המופעל על ידי Semicera מבטיח שלכל פרוס יש עובי אחיד ופגמים משטחים מינימליים. דיוק זה חיוני ליישומים מתקדמים כגון התקני תדר רדיו, ממירי מתח ומערכות LED, כאשר ביצועים ועמידות הם גורמי מפתח.
על ידי מינוף טכניקות ייצור מתקדמות, Semicera מספקת פרוסות שלא רק עומדות אלא עולות על תקני התעשייה. הגודל של 6 אינץ' מציע גמישות בהגדלת הייצור, המשרתת הן יישומים מחקריים והן מסחריים במגזר המוליכים למחצה.
בחירת 6 אינץ' חצי בידוד HPSI SiC Wafers של Semicera פירושה השקעה במוצר המספק איכות וביצועים עקביים. פרוסות אלו הן חלק מהמחויבות של Semicera לקדם את היכולות של טכנולוגיית מוליכים למחצה באמצעות חומרים חדשניים ואומנות קפדנית.
| פריטים | הֲפָקָה | מֶחקָר | דֶמֶה |
| פרמטרים של קריסטל | |||
| פוליטייפ | 4H | ||
| שגיאת כיוון פני השטח | <11-20 >4±0.15° | ||
| פרמטרים חשמליים | |||
| דופנט | חנקן מסוג n | ||
| הִתנַגְדוּת סְגוּלִית | 0.015-0.025 אוהם·ס"מ | ||
| פרמטרים מכניים | |||
| קוֹטֶר | 150.0±0.2 מ"מ | ||
| עוֹבִי | 350±25 מיקרומטר | ||
| כיוון שטוח ראשוני | [1-100]±5° | ||
| אורך שטוח ראשוני | 47.5±1.5 מ"מ | ||
| דירה משנית | אַף לֹא אֶחָד | ||
| TTV | ≤5 מיקרומטר | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר |
| LTV | ≤3 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤5 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤10 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) |
| קֶשֶׁת | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| לְעַקֵם | ≤35 מיקרומטר | ≤45 מיקרומטר | ≤55 מיקרומטר |
| חספוס קדמי (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| מִבְנֶה | |||
| צפיפות מיקרופייפ | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| זיהומי מתכת | ≤5E10אטומים/סמ"ר | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| איכות חזית | |||
| חֲזִית | Si | ||
| גימור פני השטח | Si-Face CMP | ||
| חלקיקים | ≤60ea/wafer (גודל≥0.3μm) | NA | |
| שריטות | ≤5ea/mm. אורך מצטבר ≤קוטר | אורך מצטבר≤2*קוטר | NA |
| קליפת תפוז / חרצנים / כתמים / פסים / סדקים / זיהום | אַף לֹא אֶחָד | NA | |
| שבבי קצה/חריצים/שבר/צלחות משושה | אַף לֹא אֶחָד | ||
| אזורים פוליטיפיים | אַף לֹא אֶחָד | שטח מצטבר ≤20% | שטח מצטבר ≤30% |
| סימון לייזר קדמי | אַף לֹא אֶחָד | ||
| איכות גב | |||
| גימור אחורי | C-face CMP | ||
| שריטות | ≤5ea/mm, אורך מצטבר≤2*קוטר | NA | |
| פגמים בגב (שבבי קצה/חריצים) | אַף לֹא אֶחָד | ||
| חספוס גב | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| סימון לייזר אחורי | 1 מ"מ (מהקצה העליון) | ||
| קָצֶה | |||
| קָצֶה | Chamfer | ||
| אריזה | |||
| אריזה | אפי מוכן עם אריזת ואקום אריזת קסטות מרובות ופל | ||
| *הערות: "NA" פירושו ללא בקשה פריטים שאינם מוזכרים עשויים להתייחס ל-SEMI-STD. | |||
