לחומר גבישי יחיד מסוג סיליקון קרביד (SiC) יש רוחב פער פס גדול (פי 3~Si), מוליכות תרמית גבוהה (פי 3.3 סי' או פי 10 GaAs), קצב נדידת רוויון אלקטרונים גבוה (פי 2.5~), פירוק חשמלי גבוה. שדה (~Si פי 10 או GaAs פי 5) ומאפיינים בולטים אחרים.
חומרי המוליכים למחצה מהדור השלישי כוללים בעיקר SiC, GaN, יהלום וכו', מכיוון שרוחב פער הרצועה שלו (Eg) גדול או שווה ל-2.3 וולט אלקטרונים (eV), הידוע גם כחומרי מוליכים למחצה מרווח פס רחב. בהשוואה לחומרי מוליכים למחצה מהדור הראשון והשני, לחומרי המוליכים למחצה מהדור השלישי יש את היתרונות של מוליכות תרמית גבוהה, שדה חשמלי פירוק גבוה, קצב נדידת אלקטרונים רווי גבוה ואנרגיית מליטה גבוהה, שיכולה לעמוד בדרישות החדשות של טכנולוגיה אלקטרונית מודרנית עבור גבוה טמפרטורה, הספק גבוה, לחץ גבוה, תדר גבוה ועמידות בפני קרינה ותנאים קשים אחרים. יש לו סיכויי יישום חשובים בתחומי ההגנה הלאומית, תעופה, חלל, חיפושי נפט, אחסון אופטי וכו', והוא יכול להפחית את אובדן האנרגיה ביותר מ-50% בתעשיות אסטרטגיות רבות כגון תקשורת בפס רחב, אנרגיה סולארית, ייצור רכב, תאורת מוליכים למחצה, ורשת חכמה, ויכולה להפחית את נפח הציוד ביותר מ-75%, וזה בעל משמעות אבן דרך לפיתוח מדע האדם טכנולוגיה.
Semicera Energy יכולה לספק ללקוחות מצע סיליקון קרביד מוליך (מוליך), חצי מבודד (חצי מבודד), HPSI (High Purity semi-insulating) באיכות גבוהה; בנוסף, אנו יכולים לספק ללקוחות יריעות אפיטקסיאליות הומוגניות והטרוגניות של סיליקון קרביד; אנו יכולים גם להתאים את הגיליון האפיטקסיאלי לפי הצרכים הספציפיים של הלקוחות, ואין כמות הזמנה מינימלית.
| פריטים | הֲפָקָה | מֶחקָר | דֶמֶה |
| פרמטרים של קריסטל | |||
| פוליטייפ | 4H | ||
| שגיאת כיוון פני השטח | <11-20 >4±0.15° | ||
| פרמטרים חשמליים | |||
| דופנט | חנקן מסוג n | ||
| הִתנַגְדוּת סְגוּלִית | 0.015-0.025 אוהם·ס"מ | ||
| פרמטרים מכניים | |||
| קוֹטֶר | 150.0±0.2 מ"מ | ||
| עוֹבִי | 350±25 מיקרומטר | ||
| כיוון שטוח ראשוני | [1-100]±5° | ||
| אורך שטוח ראשוני | 47.5±1.5 מ"מ | ||
| דירה משנית | אַף לֹא אֶחָד | ||
| TTV | ≤5 מיקרומטר | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר |
| LTV | ≤3 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤5 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤10 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) |
| קֶשֶׁת | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| לְעַקֵם | ≤35 מיקרומטר | ≤45 מיקרומטר | ≤55 מיקרומטר |
| חספוס קדמי (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| מִבְנֶה | |||
| צפיפות מיקרופייפ | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| זיהומי מתכת | ≤5E10אטומים/סמ"ר | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| איכות חזית | |||
| חֲזִית | Si | ||
| גימור פני השטח | Si-Face CMP | ||
| חלקיקים | ≤60ea/wafer (גודל≥0.3μm) | NA | |
| שריטות | ≤5ea/mm. אורך מצטבר ≤קוטר | אורך מצטבר≤2*קוטר | NA |
| קליפת תפוז / חרצנים / כתמים / פסים / סדקים / זיהום | אַף לֹא אֶחָד | NA | |
| שבבי קצה/חריצים/שבר/צלחות משושה | אַף לֹא אֶחָד | ||
| אזורים פוליטיפיים | אַף לֹא אֶחָד | שטח מצטבר ≤20% | שטח מצטבר ≤30% |
| סימון לייזר קדמי | אַף לֹא אֶחָד | ||
| איכות גב | |||
| גימור אחורי | C-face CMP | ||
| שריטות | ≤5ea/mm, אורך מצטבר≤2*קוטר | NA | |
| פגמים בגב (שבבי קצה/חריצים) | אַף לֹא אֶחָד | ||
| חספוס גב | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| סימון לייזר אחורי | 1 מ"מ (מהקצה העליון) | ||
| קָצֶה | |||
| קָצֶה | Chamfer | ||
| אריזה | |||
| אריזה | אפי מוכן עם אריזת ואקום אריזת קסטות מרובות ופל | ||
| *הערות: "NA" פירושו ללא בקשה פריטים שאינם מוזכרים עשויים להתייחס ל-SEMI-STD. | |||
