מטילי SiC מבודדים למחצה בגודל 4 אינץ' 6 אינץ' נועדו לעמוד בסטנדרטים המדויקים של תעשיית המוליכים למחצה. מטיל אלו מיוצרים תוך התמקדות בטוהר ועקביות, מה שהופך אותם לבחירה אידיאלית עבור יישומים בעלי הספק גבוה ותדר גבוה שבהם הביצועים הם ערך עליון.
המאפיינים הייחודיים של מטילי SiC אלה, לרבות מוליכות תרמית גבוהה ועמידות חשמלית מעולה, הופכים אותם למתאימים במיוחד לשימוש באלקטרוניקה הספק ובמכשירי מיקרוגל. האופי המבודד למחצה שלהם מאפשר פיזור חום יעיל והפרעות חשמליות מינימליות, מה שמוביל לרכיבים יעילים ואמינים יותר.
Semicera מפעילה תהליכי ייצור חדישים לייצור מטילים עם איכות ואחידות גבישית יוצאת דופן. דיוק זה מבטיח שניתן להשתמש בכל מטיל באופן אמין ביישומים רגישים, כגון מגברים בתדר גבוה, דיודות לייזר והתקנים אופטו-אלקטרוניים אחרים.
מטילי ה-SiC של Semicera, הזמינים בגדלים של 4 אינץ' ו-6 אינץ' כאחד, מספקים את הגמישות הדרושה עבור קנה מידה ייצור ודרישות טכנולוגיות שונות. בין אם לצורך מחקר ופיתוח או ייצור המוני, המטילים הללו מספקים את הביצועים והעמידות שדורשים מערכות אלקטרוניות מודרניות.
על ידי בחירת מטילי SiC בעלי טוהר גבוה למחצה של Semicera, אתה משקיע במוצר המשלב מדע חומרים מתקדמים עם מומחיות ייצור שאין שני לה. Semicera מחויבת לתמיכה בחדשנות ובצמיחה של תעשיית המוליכים למחצה, ומציעה חומרים המאפשרים פיתוח של מכשירים אלקטרוניים מתקדמים.
| פריטים | הֲפָקָה | מֶחקָר | דֶמֶה |
| פרמטרים של קריסטל | |||
| פוליטייפ | 4H | ||
| שגיאת כיוון פני השטח | <11-20 >4±0.15° | ||
| פרמטרים חשמליים | |||
| דופנט | חנקן מסוג n | ||
| הִתנַגְדוּת סְגוּלִית | 0.015-0.025 אוהם·ס"מ | ||
| פרמטרים מכניים | |||
| קוֹטֶר | 150.0±0.2 מ"מ | ||
| עוֹבִי | 350±25 מיקרומטר | ||
| כיוון שטוח ראשוני | [1-100]±5° | ||
| אורך שטוח ראשוני | 47.5±1.5 מ"מ | ||
| דירה משנית | אַף לֹא אֶחָד | ||
| TTV | ≤5 מיקרומטר | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר |
| LTV | ≤3 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤5 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤10 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) |
| קֶשֶׁת | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| לְעַקֵם | ≤35 מיקרומטר | ≤45 מיקרומטר | ≤55 מיקרומטר |
| חספוס קדמי (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| מִבְנֶה | |||
| צפיפות מיקרופייפ | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| זיהומי מתכת | ≤5E10אטומים/סמ"ר | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| איכות חזית | |||
| חֲזִית | Si | ||
| גימור פני השטח | Si-Face CMP | ||
| חלקיקים | ≤60ea/wafer (גודל≥0.3μm) | NA | |
| שריטות | ≤5ea/mm. אורך מצטבר ≤קוטר | אורך מצטבר≤2*קוטר | NA |
| קליפת תפוז / חרצנים / כתמים / פסים / סדקים / זיהום | אַף לֹא אֶחָד | NA | |
| שבבי קצה/חריצים/שבר/צלחות משושה | אַף לֹא אֶחָד | ||
| אזורים פוליטיפיים | אַף לֹא אֶחָד | שטח מצטבר ≤20% | שטח מצטבר ≤30% |
| סימון לייזר קדמי | אַף לֹא אֶחָד | ||
| איכות גב | |||
| גימור אחורי | C-face CMP | ||
| שריטות | ≤5ea/mm, אורך מצטבר≤2*קוטר | NA | |
| פגמים בגב (שבבי קצה/חריצים) | אַף לֹא אֶחָד | ||
| חספוס גב | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| סימון לייזר אחורי | 1 מ"מ (מהקצה העליון) | ||
| קָצֶה | |||
| קָצֶה | Chamfer | ||
| אריזה | |||
| אריזה | אפי מוכן עם אריזת ואקום אריזת קסטות מרובות ופל | ||
| *הערות: "NA" פירושו ללא בקשה פריטים שאינם מוזכרים עשויים להתייחס ל-SEMI-STD. | |||
